Kryopumpen, Kryotechnik

Transcription

Kryopumpen,
Kryotechnik
182.01.01
Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog
Produkt-Kapitel C12
Ausgabe 2009
Inhalt
Allgemeines
Umrechnung
Applikation und Zubehör
Kryopumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.03
Kaltköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.04
Celsius, Fahrenheit, Kelvin
Die Maßeinheit für die Temperatur ist
das Kelvin (Kurzzeichen: K).
Allgemeines
Kryopumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.05
Mehrfach-Betrieb von Refrigerator-Kryopumpen . . . . . . . . . . . . C12.06
Regenerieren von Kryopumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.06
Kälteleistungs-Diagramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.07
Kaltköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.08
Kompressor-Einheiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.11
Produkte
Kryopumpen
Standard-Kryopumpen
BasicLine
COOLVAC 800 BL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.12
Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung
ClassicLine
COOLVAC 800 CL, 1.500 CL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.14
COOLVAC 2.000 CL, 3.000 CL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.18
COOLVAC 5.000 CL, 10.000 CL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.22
COOLVAC 18.000 CL, 30.000, 60.000 . . . . . . . . . . . . . . . . C12.26
Kryotechnik
Kaltköpfe mit pneumatischem Antrieb
Einstufige Kaltköpfe COOLPOWER 140 T . . . . . . . . . . . . . . . C12.28
Zweistufige Kaltköpfe
COOLPOWER 7/25 und 5/100, 5/100 T . . . . . . . . . . . . . . . C12.30
Kaltköpfe mit mechanischem Antrieb
Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 10 MD . . . . . . . . . . . . . C12.32
Kompressor-Einheiten
für Kaltköpfe und Pumpen mit pneumatischem Antrieb
mit Luftkühlung
COOLPAK 2000 A/2200 A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.34
mit Wasserkühlung
COOLPAK 2000/2200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.36
COOLPAK 4000/4200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.38
COOLPAK 6000/6200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.38
für Kaltköpfe und Pumpen mit mechanischem Antrieb
mit Wasserkühlung
COOLPAK 6000 MD/6200 MD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.40
Allgemeines Zubehör für Kompressor-Einheiten COOLPAK . . . C12.42
Refrigerator-Kryostate
auf Basis RDK 6-320 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.43
optisch, auf Basis RDK 6-320 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C12.44
Der Übergang von der nach unten
abgeschlossenen Kelvin-Skala zur
Celsius-Skala erfolgt gemäß der
Beziehung
n °C = (n + 273,15) K.
Da zwischen Celsius- und FahrenheitSkala die Beziehung
n °F = 5/9 (n – 32) °C
besteht, folgt
n °F = 5/9 (n + 459,67) K.
Die inversen Beziehungen lauten:
m K = (m – 273,15) °C
m °C = (1,8 m + 32) °F
m K = (1,8 m – 459,67) °F.
Insbesondere gilt für den absoluten
Nullpunkt:
0 K = -273,15 °C = -459,67 °F.
1 bar = 14,5 psi
Zubehör
Kryopumpen / Kryotechnik
Steuerungs- und Überwachungs-Geräte für Kryopumpen . . . .
COOLVAC ClassicLine, System-Konfiguration
Einfach-Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Zweifach-Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Zweifach- und Mehrfach-Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Tieftemperatur-Regelgerät Modell 9700 . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Tieftemperatur-Anzeigegerät Modell 211S . . . . . . . . . . . . . . . .
Temperatur-Messfühler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Sicherheits-Ventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Feinmess-Manometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
C12 02
C12.46
C12.49
C12.50
C12.51
C12.52
C12.53
C12.54
C12.55
C12.56
Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009
Allgemeines
CO
O
LV
AC
Kr
yo
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m
pe
n
80
CO
0
BL
OL
VA
C
80
CO
0
CL
OL
VA
C
1.5
00
CO
CL
OL
VA
C
2.0
00
CO
CL
OL
VA
C
3.0
CO
00
OL
CL
VA
C
5.0
00
CO
CL
OL
VA
C
10
.00
CO
0C
OL
L
VA
C
18
.00
0C
L
Applikation und Zubehör, Kryopumpen
Applikation
UHV-Anlagen
I
I
I
I
Strahlrohre an Teilchenbeschleuniger
I
Schleusenkammern / Loadlock
I
I
I
I
I
Allgemeine Forschung
I
I
I
I
I
I
I
I
Aufdampf-Anlagen
I
I
I
I
I
I
I
Sputter-Anlagen
I
I
I
I
Ionenimplanter
I
I
I
I
I
Metallisierungs-Anlagen
I
I
I
I
I
I
I
I
Weltraumsimulationskammern
I
I
I
I
I
I
I
I
Elektronenstrahl-Schweiß-Anlagen
I
I
I
I
I
I
I
I
C12.34/36
I
I
I
I
I
Kompressor-Einheit
COOLPAK 6000/6200
C12.38
[I]
[I]
[I]
[I]
[I]
I
I
I
Temperatur-Anzeigegerät
C12.52
I
Temperatur-Messfühler
C12.54
I
Gas-Verteiler-System GD 2
C12.42
I
I
I
I
I
I
Gas-Verteiler-System GD 4
C12.42
I
I
I
I
Zubehör
Kompressor-Einheit
COOLPAK 2000 (A)/2200 (A)
Seite
[ I ] = Nur für Zwei- und Mehrfach-Betrieb
03 C12
Ka
ltk
öp
fe
CO
OL
PO
W
ER
CO
14
OL
0
PO
T
W
ER
CO
7/
OL
25
PO
W
ER
CO
5/
OL
10
PO
0
W
E
CO
R
5/
OL
10
PO
0
T
W
ER
10
M
D
Applikation und Zubehör, Kryotechnik
Applikation
I
I
I
I
I
Kühlung von Supraleitern
(I)
I
I
I
I
Kühlung von Pumpflächen
I
I
I
I
I
Reinigung von Gasen
I
I
I
I
I
Messfühler-Kalibrierung
I
I
I
I
Optische Spektroskopie
I
I
I
I
Infrarot-Spektroskopie
I
I
I
I
Matrix-Spektroskopie
I
I
I
I
Prüfung von Supraleitern
I
I
I
I
I
I
Proben- und Detektor-Kühlung
Kühlung von supraleitenden Magneten, Spulen und Bauteilen HTC+ LTC
Zubehör
Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 (A )/ 2200 (A)
(I)
Seite
I
C12.34/36
Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 / 6200
C12.38
Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 MD / 6200 MD
C12.40
Tieftemperatur-Regelgerät Modell 9700
C12.52
Temperatur-Anzeigegerät Modell 211S
C12.53
C12.54
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
( I ) = Nur Hoch-Tc-Supraleiter
C12 04
Kryopumpen
Die Kryopumpe ist eine gasbindende
Vakuumpumpe für den Druckbereich
von 10-3 mbar bis ≤ 10-11 mbar. Das
Pumpprinzip besteht darin, daß gasförmige Substanzen durch Kryokondensation bzw. durch Kryosorption
oder Kryotrapping an Kaltflächen im
Inneren der Pumpe gebunden werden.
Weitere Vorteile
Für die Erzeugung von Hoch- und
Ultrahoch-Vakuum müssen die Kaltflächen auf hinreichend tiefe Temperaturen abgekühlt werden. Je nach Art
der Kühlung unterscheidet man
zwischen Refrigerator-Kryopumpen,
Bad-Kryopumpen und VerdampferKryopumpen.
- Prozess-Kontrolle und Steuerung
über Rechner in einfacher Weise
möglich
Oerlikon Leybold Vacuum produziert
ausschließlich Refrigerator gekühlte
Kryopumpen.
Vorteile für den Anwender
Vorteile aufgrund des Pumpprinzips
- Hohes effektives Saugvermögen
für alle Gase
- Extrem hohes Saugvermögen für
Wasserdampf
Bei vorgegebenem Durchmesser des
Hochvakuum-Anschlussflansches
besitzt die Kryopumpe das höchste
Saugvermögen aller HochvakuumPumpen.
- Erheblich kompakter als vergleichbare Pumpsysteme bei Saugvermögen > 1500 l · s-1
- Vorvakuum-Pumpe nur in der
Startphase und zum Regenerieren
erforderlich
- Günstiges Preis-Leistungsverhältnis
und hohe Wirtschaftlichkeit, besonders bei höheren Saugvermögen
Die Kryopumpen werden gekühlt durch
die bewährten zweistufigen Oerlikon
Leybold Vacuum-Kaltköpfe der Reihe
COOLPOWER (Gifford/McMahonPrinzip).
Der Aufbau einer Refrigerator-Kryopumpe der Reihe COOLVAC ist in der
Abbildung schematisch dargestellt:
Mit der ersten Stufe des Kaltkopfes (9)
wird der Strahlungsschild (5) und das
Baffle (6) der Pumpe gekühlt. Die
Betriebs-Temperaturen liegen je nach
Pumpentyp und Betriebs-Bedingungen
im Bereich zwischen 45 und 80 Kelvin.
Dementsprechend kondensiert hier
Wasserdampf.
Die folgenden Vorteile sind eine unmittelbare Folge dieses Konstruktionsmerkmales.
- Kohlenwasserstofffreies Vakuum im
Druckbereich von 10-3 mbar bis
≤ 10-11 mbar
Das Strahlungsschild ist außerdem
hochglanzverspiegelt mit kleinem
Reflektionsverlust.
Mit der zweiten Stufe des Kaltkopfes
(7) werden die Pumpflächen (8) gekühlt. Die Betriebs-Temperaturen liegen
je nach Betriebs-Bedingungen im
Bereich zwischen 10 und 20 Kelvin.
Hier findet die Kryo-Kondensation von
N2, O2 und Argon statt.
Die Pumpflächen sind aus Kupfer mit
hoher Wärmeleitfähigkeit gefertigt und
an der zweiten Stufe des Kaltkopfes
thermisch gut kontaktiert. H2, Ne und
He werden ebenfalls an diesen teilweise mit Aktivkohle belegten Flächen
adsorbiert.
Alle Kryopumpen der Reihe COOLVAC
sind mit einem Sicherheitsventil (bzw.
einer Berstscheibe bei UHV-Varianten)
ausgerüstet, das im Werk so eingestellt
wird, daß es bei einem Überdruck von
150 mbar öffnet. Um gesundheitsgefährdende Gase beim Ansprechen des
6
Vorteile aufgrund von KonstruktionsMerkmalen
Im Gegensatz zu gasfördernden Hochvakuum-Pumpen (z.B. mechanisch
gelagerten Turbo Molekularpumpen)
sind bei Kryopumpen vakuumseitig
keine mechanisch bewegten, öl- oder
fettgeschmierten Teile vorhanden.
Strahlungsschild und Baffle sind aus
Kupfer mit hoher Wärmeleitfähigkeit
gefertigt, damit die Kälteleistung des
Refrigerators optimal in Pumpleistung
umgesetzt wird.
1
1
2
3
4
Hochvakuum-Flansch
Pumpen-Gehäuse
Vorvakuum-Flansch
Sicherheitsventil mit FlanschAnschluss für GasabführungsLeitung
5 Strahlungsschild
6 Baffle
7 Zweite Stufe des Kaltkopfes
8 Pumpflächen
9 Erste Stufe des Kaltkopfes
10 Helium-Gas-Anschlüsse
11 Kaltkopf-Motor mit Gehäuse
und elektrischen Anschlüssen
2
3
10
11
7
5
4
8
9
- Unempfindlich gegen mechanische
Störeinflüsse wie Prozess-Partikel
oder externe Vibrationen
Refrigerator-Kryopumpe COOLVAC
05 C12
Sicherheitsventils sicher ableiten zu
können, ist das Ventil zusätzlich mit einem Flansch DN 40 KF zum problemlosen Anschluss einer GasabführungsLeitung versehen.
Das Pumpen-Gehäuse, alle Flansche,
sowie das Sicherheitsventil sind aus
hochwertigem, rostfreiem Edelstahl
hergestellt.
Mehrfach-Betrieb von
Refrigerator-Kryopumpen
Mit den leistungsstarken Oerlikon
Leybold Vacuum Kompressor-Einheiten
COOLPAK 4000 D und 6000 D eröffnet sich die Möglichkeiten für den
gleichzeitigen Betrieb von zwei Kaltköpfen oder Refrigerator-Kryopumpen.
Regenerieren von
Kryopumpen
Ein für den Betrieb von Kryopumpen
wesentlicher Aspekt ist das Regenerieren. Da die Kryopumpe eine gasbindende Vakuumpumpe ist, müssen von
Zeit zu Zeit die im Betriebszustand
„Pumpen“ akkumulierten gasförmigen
Substanzen aus der Pumpe entfernt
werden. Dies geschieht dadurch, daß
nach dem Abschalten der Kompressor-Einheit die Pumpflächen auf Raumtemperatur oder geringfügig höhere
Temperaturen erwärmt werden und die
freigesetzten gasförmigen Substanzen
mit einer Vorvakuum-Pumpe abgepumpt werden.
Kryopumpe ohne elektrisches
Regenerier-System
Die Kryopumpe wird auf Raumtemperatur aufgewärmt, indem der Innenraum der Pumpe mit einem trockenen,
vorgewärmten Inert-Gas (z.B. Stickstoff,
Argon) gespült wird. Bei diesem Aufwärm-Verfahren können die Temperaturen im Inneren der Kryopumpe nicht
definiert eingestellt und kontrolliert werden. Es ist nicht auszuschließen, daß
Gase wie Wasserstoff und Sauerstoff
gleichzeitig in der Pumpe vorhanden
sind. Die Bildung zündfähiger Gas-Gemische wird allein durch Verdünnung
mit dem trockenen Inert-Gas verhindert.
C12 06
- Deutlich reduzierte Investitions- und
Betriebskosten
- Geringer Platzbedarf
Kryopumpe mit vollautomatischem
Regenerier-System von Oerlikon
Leybold Vacuum
Die Kryopumpe wird auf Raumtemperatur aufgewärmt, indem die 1. und 2.
Kaltkopf-Stufe mit elektrischen Heizern
erwärmt werden. Bei diesem AufwärmVerfahren kann die Temperatur-Verteilung im Inneren der Kryopumpe definiert eingestellt und kontrolliert werden.
Durch dieses kontrollierte Aufwärmen
der Kryopumpe wird sichergestellt,
dass die gepumpten Gase sequentiell
regeneriert werden, d.h., die gepumpten Gase werden nacheinander in der
folgenden Reihenfolge freigesetzt:
- Gase, die an den Pumpflächen
adsorbiert sind (z.B. Wasserstoff,
Helium, Neon),
- Gase, die an den Pumpflächen kondensiert sind (z.B. Stickstoff, Sauerstoff, Argon),
- Gase und Dämpfe, die am Baffle
und Strahlungsschild kondensiert
sind (z.B. Wasserdampf).
Beim elektrischen Regenerier-Verfahren
von Oerlikon Leybold Vacuum wird
damit ausgeschlossen, dass Gase wie
Wasserstoff und Sauerstoff gleichzeitig
in der Pumpe vorhanden sind. Die Bildung zündfähiger Gas-Gemische wird
damit von vornherein ausgeschlossen.
Kryopumpen ohne vollautomatische
Steuerung und ohne elektrisches
Regenerier-System gehören zur Reihe
Basic-Line (BL) wie z.B.
COOLVAC 800 BL.
Der Aufwärmvorgang läuft vollautomatisch ab. Der Druck und die Temperatur-Verteilung im Inneren der Kryopumpe wird von der Steuerung zu
jedem Zeitpunkt definiert eingestellt
und überwacht. Beim sequentiellen
Regenerieren der gepumpten Gase
wird die Bildung zündfähiger GasGemische von vorneherein ausgeschlossen. Damit wird ein Höchstmass
an Sicherheit beim Regenerieren von
Oerlikon Leybold Vacuum-Kryopumpen
gewährleistet.
Bei den Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung gibt es zwei
Kryopumpen-Reihen:
1. COOLVAC BasicLine
(COOLVAC BL) der folgenden
Saugvermögensklasse für Stickstoff
in l/s: 800;
COOLVAC 800 BL, zum Beispiel.
Andere Saugvermögensklassen von
1 500 bis 18 000 l/s sind auf
Anfrage erhältlich.
Für weitere Informationen setzen Sie
sich bitte mit Ihrem örtlichen Vertreter von Oerlikon Leybold Vacuum
in Verbindung.
2. Die COOLVAC ClassicLine
(COOLVAC CL) mit den Saugvermögensklassen für Stickstoff in l/s:
800, 1 500, 2 000, 3 000, 5 000,
10 000 und 18 000;
z.B. COOLVAC 1500 CL
Weiter taucht noch in der Preisliste
die Bezeichnung V bei den
Pumpen-Bezeichnungen auf.
„V“:
Der Hochvakuum-Flansch befindet sich
oben und der Kaltkopf unten, wie z.B.
bei der COOLVAC 1500 CL-V,
DN 200 CF.
Kälteleistungs-Diagramme
35
200
W
10W
175
Temperatur an 2. Stufe
Kälteleistung
Cooling Capacity
150
125
100
75
50
30
K
25
9W
8W
Kälteleistung
an 2. Stute
20
7W
6W
15
5W
4W
3W
2W
1W
0W
10W
10
5
25
0
0
20
40
0
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
K
Temperature
Temperatur
30
25
12W
Kälteleistung an
2. Stufe
10W
8W
20
6W
15
4W
2W
10
0W
5
100W
80W
40W
140W
120W
Kälteleistung an 1. Stufe
30
K
25
Kälteleis20 tung an
2. Stufe
15
10
5
0
0
20
40
60
80
100
120
K
140
Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 7/25
40
35
100
60
80
120
Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 140 T
K
35W
25W
Kälteleistung
an 1. Stute
120
K
10W
8W
6W
4W
2W
0W
0W 20W
40W 60W
80W
100W
120W
140W
Kälteleistung an 1. Stufe
140
0
0
20
40
60
80
100
120
K
140
Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 5/100 T
Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 5/100
25
K
20 W
0W
20
17,5 W
25 W
150 W
50 W
75 W
Kälte15 W
15 leistung 12,5 W
an 2. Stufe 10 W
7,5 W
5W
2,5 W
0W
10
5
0
20
125 W
100 W
Kälteleistung
an 1. Stufe
40
60
80
100
K
120
Typische Kälteleistung des Kaltkopfes COOLPOWER 10 MD
Die angegebenen Kälteleistungen gelten für vertikalen Betrieb mit kaltem Ende nach unten.
07 C12
Kaltköpfe
Ein Refrigerator (Kaltkopf) ist eine in
einem thermodynamischen Kreisprozess arbeitende Gas-Kälte-Maschine
zur Erzeugung kryogener Temperaturen (T ≤ 120 K).
Zur Kühlung von Kryopumpen und
Kryostaten hat sich der Refrigerator
nach dem Gifford/McMahon-Verfahren
durchgesetzt. Er wird von Oerlikon
Leybold Vacuum ausschließlich verwendet.
Um auf individuelle Kundenwünsche
Rücksicht nehmen zu können, baut
Oerlikon Leybold Vacuum neben den
Standard-Kryostaten auch Kryostate in
Sonder-Ausführung.
Vorteile aufgrund von
Konstruktionsmerkmalen
- Keine Platzprobleme, da Kaltkopf
und Kompressor-Einheit räumlich
getrennt voneinander aufgestellt und
betrieben werden können
- Tiefe Temperaturen auf Knopfdruck
- Kein flüssiges Helium und kein flüssiger Stickstoff erforderlich
- Einfachste Bedienung
- Hohe Kälteleistung auf kleinstem
Raum
- Prozess-Kontrolle und TemperaturRegelung über Rechner in einfacher
Weise möglich
- Proben- und Detektor-Kühlung;
insbesondere Kühlung von
- Weitgehend lageunabhängiger
Einsatz des Kaltkopfes
- Proben für spektroskopische
Untersuchungen in Festkörperund Oberflächen-Physik
- Hohe Zuverlässigkeit
- Hochtemperatur-Supraleitern
- Lange wartungsfreie Betriebsdauer
- Supraleiter- und HalbleiterBauelementen
- Infrarot- und Gamma-Detektoren
Typische Anwendungen
- Kühlung von Pumpflächen in Kryopumpen und damit Erzeugung von
Hoch- und Ultrahoch-Vakuuum
Gifford/McMahonRefrigeratoren
- Kühlung von supraleitenden
Magneten; z.B. bei der KernspinTomographie in der Medizin-Technik
- Messfühler-Kalibrierung
13
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
Elektrische Anschlüsse und
Stromdurchführung für Kaltkopf-Motor
Helium-Hochdruck-Anschluss
Helium-Niederdruck-Anschluss
Zylinder 1. Stufe
Verdrängerkolben 1. Stufe
Regenerator 1. Stufe
Expansions-Volumen 1. Stufe
1. (Kälte-)Stufe (Kupfer-Flansch)
Zylinder 2. Stufe
Verdrängerkolben 2. Stufe
Regenerator 2. Stufe
Expansions-Volumen 2. Stufe
2. (Kälte-)Stufe (Kupfer-Flansch)
Dampfdruck-Messkammer
Steuerkolben
Steuervolumen
Steuerscheibe
Steuerventil
Kaltkopf-Motor
12
11
10
9
8
7
6
5
4
3
2
1
14
15
16
17
18
19
Zweistufiger Gifford/McMahon-Kaltkopf (schematisch)
C12 08
Kaltköpfe der Reihe
COOLPOWER
Vorteile durch hohe
Zuverlässigkeit
Vorteile durch hohe
Zuverlässigkeit
Das Standard-Lieferprogramm von einund zweistufigen Kaltköpfen ist auf ein
breites Anwendungs-Spektrum abgestimmt.
Oerlikon Leybold Vacuum-Kaltköpfe
nehmen in punkto Zuverlässigkeit eine
Spitzenstellung ein.
Oerlikon Leybold Vacuum-Kaltköpfe
nehmen in punkto Zuverlässigkeit eine
Spitzenstellung ein.
Besonders hohe Anforderungen hinsichtlich Zuverlässigkeit werden in der
Medizin-Technik im Bereich der Kernspin-Tomographie gestellt. Bei dieser
Anwendung werden Kaltköpfe zur
Kühlung von supraleitenden Magneten
eingesetzt und laufen daher in einem
Magnetfeld.
Besonders hohe Anforderungen hinsichtlich Zuverlässigkeit werden in der
Medizin-Technik im Bereich der Kernspin-Tomographie gestellt. Bei dieser
Anwendung werden Kaltköpfe zur
Kühlung von supraleitenden Magneten
eingesetzt und laufen daher in einem
Magnetfeld.
Die führenden Hersteller von KernspinTomographie-Anlagen haben sich
daher für Oerlikon Leybold VacuumKaltköpfe zur Kühlung der supraleitenden Magnete entschieden.
Die führenden Hersteller von KernspinTomographie-Anlagen haben sich
daher für Oerlikon Leybold VacuumKaltköpfe zur Kühlung der supraleitenden Magnete entschieden.
So bietet Oerlikon Leybold Vacuum
Refrigeratoren mit verfügbaren Kälteleistungen von bis zu 140 W bei 80 K
(COOLPOWER 140 T; einstufig), bzw.
bis zu 3,5 W bei 10 K (COOLPOWER
5/100T; zweistufig) an.
Die Kaltköpfe bestehen im wesentlichen aus drei Baugruppen:
- Antriebs- und Steuer-Einheit für den
Verdrängerkolben
- Verdrängerkolben
- 1. Kaltkopf-Stufe (und 2. KaltkopfStufe für zweistufige Kaltköpfe)
Pneumatisch angetriebene
Kaltköpfe
Vorteile
- Einfacher Aufbau
Der pneumatische Verdrängerkolben-Antrieb dieser Oerlikon Leybold
Vacuum-Kaltköpfe benötigt nur zwei
mechanisch bewegte Teile: Rotierendes Steuerventil und Synchron-Motor zum Antrieb des Steuerventils.
- Einfache und schnelle Wartung
Alle Oerlikon Leybold VacuumKryopumpen der Reihe COOLVAC
sind mit pneumatisch angetriebenen
Oerlikon Leybold Vacuum-Kaltköpfen ausgerüstet.
Aufgrund des einfachen Aufbaus der
eingebauten Kaltköpfe sind diese
daher einfach und schnell zu warten.
Die Wartung kann am Einsatzort der
Kryopumpe erfolgen, da ein Abbau
der Pumpe von der Vakuum-Kammer zur Wartung des Kaltkopfes
nicht erforderlich ist.
Mechanisch angetriebene
Kaltköpfe
W
200
Vorteile
Bei den mechanisch angetriebenen
Oerlikon Leybold Vacuum-Kaltköpfen
wird der Verdrängerkolben über den
sogenannten Kulissenantrieb („Scotch
yoke”) direkt vom Antriebsmotor
bewegt. Dieser aufwendigere Mechanismus erlaubt eine genauere Steuerung der Gasführung und der Bewegung des Verdrängerkolbens, wodurch mit den zweistufigen Kaltköpfen
besonders hohe Kälteleistungen im
Bereich tiefster Temperaturen erzielt
werden können (Refrigeratoren der
Serie COOLPOWER 10 MD)
5/100
150
.
Q1
100
7/25
50
0
0
50 100 150 200 250 300 K
T1
Kälteleistungen in Abhängigkeit von der
Temperatur; Betrieb mit der empfohlenen
Kompressor-Einheit bei 50 Hz; gemessen
unter Standard-Abnahme-Bedingungen:
Kälteleistung Q1 der 1. Stufe in Abhängigkeit
von der Temperatur T1 der 1. Stufe (2. Stufe:
Q2 = 0)
.
.
W
30
.
Q2
7/25
25
20
5/100
15
10
5
0
0
50 100 150 200 250 300 K
T2
.
Kälteleistung Q2 der 2. Stufe in Abhängigkeit
von der Temperatur T2 der 2. Stufe
(1. Stufe: T1 = 80 K = konstant)
Standard-Abnahme-Bedingungen:
Kaltkopf im Vakuum, 2. Kältestufe thermisch
abgeschirmt durch einen an der 1. Kältestufe
angebrachten hochglanz-vernickelten
Strahlungsschild, Belastung Q simuliert durch
elektrisches Heizen
.
09 C12
Refrigerator-Kryostate
(Basis-Einheiten)
- Weitgehend beliebige Einbaulage
und damit hohe Flexibilität beim
experimentellen Aufbau
- Kontinuierliche Einstellung beliebiger
Temperaturen zwischen 6,5 und
320 K
- Hohe Kälteleistung, hohe Temperatur-Konstanz
- Keine flüssigen Kältemittel erforderlich
Insbesondere in Verbindung mit
- Kühlung von
- Spektroskopischen Untersuchungen
im infraroten, sichtbaren und ultravioletten Spektral-Bereich
- Matrix-Spektroskopie
- Mößbauer-Spektroskopie
- Messung elektrischer und thermischer Transport-Größen als Funktion der Temperatur, wie
- Magneto-optische Experimente
- elektrische und thermische
Leitfähigkeit
- Thermokraft
- Problemlose Temperatur-Regelung
durch standardisierte Regel- und
Anschluss-Komponenten
- Hoher Proben-Durchsatz dank
kurzer Abkühl- und Aufwärm-Zeiten
möglich
C12 10
Die wartungsfreie Betriebsdauer der
Oerlikon Leybold Vacuum-KompressorEinheiten wird bestimmt durch die
Standzeit des Adsorbers. Liegen die
Werte für Umgebungs-Temperatur und
Kühlwasser-Eintritts-Temperatur im
Für den Einzel-Betrieb der Kaltköpfe der Reihe COOLPOWER sowie für den
Mehrfach-Betrieb von Kryopumpen
und Kryostaten stehen die Kompressor-Einheiten der COOLPAK Familie
2000 bis 6000 zur Verfügung.
spezifizierten Bereich, so garantiert
Oerlikon Leybold Vacuum eine Adsorber-Standzeit – und damit eine wartungsfreie Betriebsdauer – von 18 000
Betriebsstunden.
Die Möglichkeiten für den Ein- und Mehrfach-Betrieb von Refrigerator-Kryopumpen entnehmen Sie der folgenden Tabelle
Für den Betrieb von
Kompressor-Einheit
Kaltköpfen
Kryopumpen
COOLPAK 2000/2200
1 x COOLPOWER 7/25
1 x COOLVAC 800/1500/2000/3000
COOLPAK 2000 (A)/2200 (A)
1 x COOLPOWER 7/25
1 x COOLVAC 800/1500/2000/3000
2 x COOLPOWER 7/25
2 x COOLPOWER 5/100 1)
2 x COOLVAC 800/1500/2000/3000
2 x COOLVAC 5000 1)
COOLPAK 6000/6200
1 x COOLPOWER 140 T
1 x COOLPOWER 5/100
3 x COOLVAC 800/1500/2000
2 x COOLVAC 3000/(5000 1))
1 x COOLVAC 5000/10000
COOLPAK 6000 MD/6200 MD
1 x COOLPOWER 10 MD
COOLPAK 6000 D
bis zu
1)
mit reduzierter Leistung
UL-Approbationen
Die in diesem Katalog aufgeführten
Oerlikon Leybold Vacuum-Refrigeratoren (bestehend aus KompressorEinheit COOLPAK (4000/4200,
6000/6200, flexible Druck-Leitungen
FL und dem Kaltkopf COOLPOWER 2)
erfüllen als Gesamtsystem die Anforderungen der Underwriter Laboratories
(UL) als Recognized Component
(URus) sowie die durch Underwriter
Laboratories für die Canadian
Standards Association durchgeführte
Approbation cUR.
2)
Die Oerlikon Leybold Vacuum-Refrigeratoren sind unter der cULus bzw.
cURus-Referenz-Nr. SA 8676 eingetragen. Die Kennzeichnung für das
Gesamtsystem erfolgt nur auf dem
Typenschild der Kompressor-Einheit
mit dem nebenstehendem Symbol.
®
C
CE-Approbation
Die Oerlikon Leybold VacuumKompressor-Einheiten RW und
COOLPAK entsprechen den einschlägigen Sicherheits- und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien entsprechen. Die Kennzeichnung erfolgt
auf dem Typenschild der KompressorEinheit mit dem nachstehendem
Symbol.
US
bzw. früher RGD
11 C12
Produkte Kryopumpen
Standard-Kryopumpen, Basicline
COOLVAC 800 BL
- Kohlenwasserstofffreies
Hochvakuum
Ultrahochvakuum
Ultrahochvakuum
- Hohe Kapazität für Argon und
Wasserstoff
- Hohes Saugvermögen für
Wasserdampf, Stickstoff und
Wasserstoff
Wasserdampf, Stickstoff und
Wasserstoff
- Lampen- und Röhren-Fertigung
- Strahlrohre an TeilchenBeschleunigern
- Strahlrohre an TeilchenBeschleunigern
- Allgemeine Forschung
- UHV-Anlagen
Wasserdampf, Argon und
Wasserstoff
- Schleusenkammern / Loadlock
- Allgemeine Forschung
Oberteil um 90° gedreht gezeichnet
ø180
ø202,5
ø202,5
78,5
22
153,5
188,5
386
389
418
535
13,5°
156
156
191
389
420
420
538
538
13,5°
13,5°
81
81
45°
13,5°
45°
45°
45°
13,5°
13,5°
ø181
ø181
45°
Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL (160 ISO-K)
C12 12
45°
9°
Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL (160 CF)
9°
Maßzeichnung der COOLVAC 800 BL UHV (160 CF)
800 BL (ISO-K)
COOLVAC
800 BL (CF)
800 BL UHV (CF)
Technische Daten
Hochvakuum-Flansch
DN
160 ISO-K
160 CF
160 CF
Vorvakuum-Flansch
DN
25 KF
25 KF
40 CF
Flansche zur weiteren Verwendung
DN
16 KF (2x)
16 KF (2x)
16 CF (1x), 40 CF (1x)
eingeschweißt
eingeschweißt
Berstscheibe
montiert auf DN 16 CF
2600
640 / 800
1000 / 300
2600
640 / 800
1000 / 300
2600
640 / 800
1000 / 300
Sicherheitsventil mit Flansch-Anschluss
DN 40 KF für Gasabführungs-Leitung
Saugvermögen
H2O
Ar / N2
H2 / He
I
I
I
Kapazität
Ar / N2
H2 bei 10-6 mbar
He
bar . I
bar . I
bar . I
300
4,5
0,5
300
4,5
0,5
300
4,5
0,5
COOLPOWER
7/25
7/25
7/25
4
2
4
2
4
2
mbar . I
150
150
150
Abkühlzeit auf 20 K
min
50
50
50
Gesamthöhe
mm
535
538
538
kg
12
12
12
eingebaut an DN 16 KF mit
HV-Stromdurchführung 4polig
eingebaut an DN 16 KF mit
eingebaut an DN 16 CF mit
800 BL (ISO-K)
COOLVAC
800 BL (CF)
800 BL UHV (CF)
COOLVAC
Kat.-Nr. 844160V1006
Kat.-Nr. 844160V1002
Kat.-Nr. 844160V9002
Kompressor-Einheit
COOLPAK 2000
COOLPAK 2200
COOLPAK 2000 A
COOLPAK 2200 A
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Eingebauter Kaltkopf
Max. Saugleistung
Ar / N2
H2
Crossover-Wert
bar
bar
.
.
I
I
Gewicht
. s-1
. s-1
. s-1
. s-1
. s-1
Silizium-Diode zur Temperatur-Messung
Bestelldaten
840000V2000
840000V2200
840000V2010
840000V2210
840000V2000
840000V2200
840000V2010
840000V2210
840000V2000
840000V2200
840000V2010
840000V2210
Verbindungs-Leitung
Kompressor – Kaltkopf, 4,5 m
Kat.-Nr. E 400 000 323
Kat.-Nr. E 400 000 323
Kat.-Nr. E 400 000 323
Kat. Nr. 893 74
Kat. Nr. 893 74
Kat. Nr. 893 74
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 87
Kat.- Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 87
Kat.- Nr. 892 88
Tieftemperatur-Anzeigegerät
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
Mess-Leitung für Silizium-Diode, 10 m lang
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
EL 4.5 (Elektrische Verlängerungs-Leitung)
Flexible Druckleitungen
FL 4.5 (1/2", 1/2")
13 C12
Kryopumpen mit vollautomatischer Steuerung,
Classicline
COOLVAC 800 CL
COOLVAC 1.500 CL
COOLVAC 1.500 CL
- Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum
- Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff
- Hoher Crossover-Wert
- Einfache Bedienung
- Problemlose Integration in komplexe HochvakuumSysteme
- Vollautomatisches Regenerieren durch KompaktSteuerung
- Einfachster Service
- Aufdampf-Anlagen
- Aufdampf-Anlagen
- Sputter-Anlagen
- Sputter-Anlagen
- Ionen-Implantations-Anlagen
- Optische Beschichtungs-Anlagen
- Metallisierungs-Anlagen
fl 180
DN 160 ISO-K
Ø 240
257
153
DN 40 KF
143
DN 25 KF
320
535
386
418
DN 16 KF
549
Maßzeichnung der COOLVAC 800 CL (DN 160 ISO-K)
C12 14
Maßzeichnung der COOLVAC 1.500 CL (DN 200 ISO-K)
Technische Daten
COOLVAC
800 CL
1.500 CL
Hochvakuum (HV)-Flansch
DN
160 ISO-K / 160 CF
200 ISO-K / 200 CF / 6" ANSI
Vorvakuum-Flansch
DN
25 KF
25 KF
Flansch zum Anschluss für Messröhre
DN
16 KF
16 KF
Flansch für Elektro-Anschluss
DN
16 KF
16 KF
für Gasabführungs-Leitung
DN
40 KF
40 KF
4-polige Stromdurchführung
für Si-Diode auf Flansch
16 KF
16 KF
160
42
90
42
160
42
90
42
PT 100
Si-Diode
PT 100
Si-Diode
7/25
7/25
kg
15
25
min
50
60
mbar . I
150
210
2600
640 / 800
1000
4600
1200 / 1500
2500
300
4,5
1000
12,0
4
2
12
6
1/2"
1/2"
DN
Heizungen
1. Stufe
W
V AC
W
V AC
2. Stufe
1. Stufe
2. Stufe
COOLPOWER
Gewicht
Abkühlzeit bis T2 = 20 K
Crossover-Wert
Saugvermögen
H2O
Ar / N2
H2
I
I
I
Kapazität
Ar / N2
H2 bei 10-6 mbar
bar
bar
Max. Saugleistung
Ar / N2
H2
. s-1
. s-1
. s-1
.
.
I
I
mbar . I . s-1
mbar . I . s-1
Helium-Anschlüsse
(Selbstdichtende Verschraubungen:
Außengewinde Typ 5400-S2-8)
DN
15 C12
COOLVAC 800 CL
Bestelldaten
Einfach-Betrieb
Europa
COOLVAC 800 CL
DN 160 CF
DN 160 ISO-K
USA/Japan
Zweifach-Betrieb
Europa
Kat.-Nr.
844160V0002
844160V0006
Europa
Mehrfach-Betrieb
USA/Japan
Kat.-Nr.
844160V0002 (2x)
844160V0006 (2x)
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844160V0002 (3x)
844160V0006 (3x)
Elektronik und Leitung
System Controller SC
844 230
844 230
844 230
844 230
844 230
Stromversorgung PS (50/60 Hz)
230 V, 1 ph. (umschaltbar auf 115 V)
844 135
–
844 135
–
–
844 235
–
844 235
–
844 235
Netzwerk-Kommunikations-Leitung –
System Controller zu der/den Pumpen
10 m
20 m
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
Netzwerk-PM Leitung zur Verbindung
zwischen den Pumpen
03 m
10 m
–
–
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256 (2x)
844 258 (2x)
Versorgungs-Leitung von
Stromversorgung zur Pumpe
10 m
20 m
–
–
–
–
Fernbedienungs-Leitung CP, 1 m
844 251 (2x) 844 251 (2x)
844 252 (2x) 844 252 (2x)
844 251 (3x)
844 252 (3x)
–
–
844 265
844 265
844 265
Leitung Kompressor – Stromversorgung
10 m
20 m
844 129
844 139
844 129
844 139
–
–
–
–
–
–
Leitung System Controller –
Stromversorgung, 1 m
844 141
844 141
–
–
–
Leitung
Pumpmodul PM – Stromversorgung
10 m
20 m
844 128
844 138
844 128 (2x)
844 138 (2x)
–
–
–
–
–
–
400000323
400000323
(2x)
–
–
–
893 74
893 74 (2x)
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
–
840000V6200
–
840000V6200
–
Verbindungs-Leitung
Kompressor – Pumpe, 4,5 m
Kompressoren und Druck-Leitungen
Kompressor
CP 2000
CP 2000 A
CP 2200
CP 2200 A
CP 6000 D
CP 6000
CP 6200
Zubehör
Wasserkühlungs-Auslassdrossel
Stromversorgungs-Kabel für Kompressor
Flexible Druck-Leitungen
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
Gasverteiler-System (jeweils 1 Stück)
GD 2
GD 4
–
–
840000V2000
840000V2010
–
–
–
–
–
840000V2200
840000V2210
–
–
–
–
–
–
–
–
892 46
–
840000133
1)
–
–
1)
1)
1)
1)
892 87
892 88
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (3x)
892 88 (3x)
–
–
–
–
–
840 253 (2x) 840 253 (2x) 840 253 (2x)
–
–
–
–
–
840 254 (2x)
Die Anordnung der Komponenten ist im Abschnitt „Zubehör“ unter Absatz „COOLVAC ClassicLine, System-Komponenten“ dargestellt.
1)
siehe Bestelldaten Kompressor-Einheiten COOLPAK
C12 16
COOLVAC 1.500 CL
Bestelldaten
Einfach-Betrieb
Europa
COOLVAC 1.500 CL
DN 200 CF
DN 6" ANSI
DN 200 ISO-K
USA/Japan
Zweifach-Betrieb
Europa
Kat.-Nr.
844200V0002
844200V0004
844200V0006
Mehrfach-Betrieb
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844200V0002 (2x)
844200V0004 (2x)
844200V0006 (2x)
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844200V0002 (3x)
844200V0004 (3x)
844200V0006 (3x)
844 230
844 230
844 230
844 230
844 230
844 135
–
844 135
–
–
844 235
–
844 235
–
844 235
10 m
20 m
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
zwischen den Pumpen
03 m
10 m
–
–
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256 (2x)
844 258 (2x)
10 m
20 m
–
–
–
–
–
–
844 265
844 265
844 265
10 m
20 m
844 129
844 139
844 129
844 139
–
–
–
–
–
–
844 141
844 141
–
–
–
Leitung
10 m
20 m
844 128
844 138
844 128 (2x)
844 138 (2x)
–
–
–
–
–
–
400000323
400000323
(2x)
–
–
–
893 74
893 74 (2x)
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
–
840000V6200
–
840000V6200
–
Verbindungs-Leitung
844 251 (2x) 844 251 (2x)
844 252 (2x) 844 252 (2x)
844 251 (3x)
844 252 (3x)
Kompressor
CP 2000
CP 2000 A
CP 2200
CP 2200 A
CP 6000 D
CP 6000
CP 6200
Zubehör
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
GD 2
GD 4
–
–
840000V2000
840000V2010
–
–
–
–
–
840000V2200
840000V2210
–
–
–
–
–
–
–
–
892 46
–
840000133
1)
–
–
1)
1)
1)
1)
892 87
892 88
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (3x)
892 88 (3x)
–
–
–
–
–
840 253 (2x) 840 253 (2x) 840 253 (2x)
–
–
–
–
–
840 254 (2x)
1)
17 C12
COOLVAC 2.000 CL
COOLVAC 3.000 CL
COOLVAC 2.000 CL
COOLVAC 3.000 CL
- Aufdampf-Anlagen
- Aufdampf-Anlagen
- Sputter-Anlagen
- Sputter-Anlagen
Ø 370 (10" ANSI = Ø 406)
Ø 304
300
345
559
604
Maßzeichnung der COOLVAC 2.000 CL (DN 250 CF)
C12 18
Maßzeichnung der COOLVAC 3.000 CL (DN 320 ISO-K / 10" ANSI)
COOLVAC
Technische Daten
2.000 CL
3.000 CL
DN
250 ISO-K / 250 CF / 8" ANSI
320 ISO-K / 10" ANSI
Vorvakuum-Flansch
DN
25 KF
25 KF
DN
16 KF
16 KF
DN
16 CF
16 CF
DN
40 KF
40 KF
4-polige Stromdurchführung
für Si-Diode auf Flansch
16 KF
16 KF
160
42
90
42
160
42
90
42
PT 100
Si-Diode
PT 100
Si-Diode
7/25
7/25
kg
25
35
min
70
80
mbar . I
250
500
7000
1600 / 2100
3200
10500
2500 / 3000
6000
1600
15
2500
28
12
6
15
10
1/2"
1/2"
DN
Heizungen
1. Stufe
W
V AC
W
V AC
2. Stufe
1. Stufe
2. Stufe
COOLPOWER
Gewicht
Crossover-Wert
Saugvermögen
H2O
Ar / N2
H2
I
I
I
Kapazität
Ar / N2
H2 bei 10-6 mbar
bar
bar
Max. Saugleistung
Ar / N2
H2
. s-1
. s-1
. s-1
.
.
I
I
mbar . I . s-1
mbar . I . s-1
Helium-Anschlüsse
DN
19 C12
Bestelldaten
COOLVAC 2.000 CL
Einfach-Betrieb
Europa
COOLVAC 2.000 CL
DN 250 CF
DN 8" ANSI
DN 250 ISO-K
USA/Japan
Zweifach-Betrieb
Europa
Kat.-Nr.
844250V0002
844250V0004
844250V0006
Mehrfach-Betrieb
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844250V0002 (2x)
844250V0004 (2x)
844250V0006 (2x)
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844250V0002 (3x)
844250V0004 (3x)
844250V0006 (3x)
844 230
844 230
844 230
844 230
844 230
844 135
–
844 135
–
–
844 235
–
844 235
–
844 235
10 m
20 m
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
zwischen den Pumpen
03 m
10 m
–
–
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256 (2x)
844 258 (2x)
10 m
20 m
–
–
–
–
844 251 (2x) 844 251 (2x)
844 252 (2x) 844 252 (2x)
844 251 (3x)
844 252 (3x)
–
–
844 265
844 265
844 265
10 m
20 m
844 129
844 139
844 129
844 139
–
–
–
–
–
–
844 141
844 141
–
–
–
Leitung
10 m
20 m
844 128
844 138
844 128 (2x)
844 138 (2x)
–
–
–
–
–
–
400000323
400000323
(2x)
–
–
–
893 74
893 74 (2x)
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
–
840000V6200
–
840000V6200
–
Verbindungs-Leitung
Kompressor
CP 2000
CP 2000 A
CP 2200
CP 2200 A
CP 6000 D
CP 6000
CP 6200
Zubehör
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
GD 2
GD 4
–
–
840000V2000
840000V2010
–
–
–
–
–
840000V2200
840000V2210
–
–
–
–
–
–
–
–
892 46
–
840000133
1)
–
–
1)
1)
1)
1)
892 87
892 88
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (3x)
892 88 (3x)
–
–
–
–
–
840 253 (2x) 840 253 (2x) 840 253 (2x)
–
–
–
–
–
840 254 (2x)
1)
C12 20
Bestelldaten
COOLVAC 3.000 CL
Einfach-Betrieb
Europa
COOLVAC 3.000 CL
DN 10" ANSI
DN 320 ISO-K
Zweifach-Betrieb
USA/Japan
Europa
Kat.-Nr.
844320V0004
844320V0006
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr.
844320V0004 (2x)
844320V0006 (2x)
844 230
844 230
844 230
844 230
844 230
844 135
–
844 135
–
844 135
–
–
844 235
–
844 235
10 m
20 m
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
844 261
844 262
zwischen den Pumpen
03 m
10 m
–
–
–
–
844 256
844 258
844 256
844 258
844 256
844 258
10 m
20 m
–
–
–
–
–
–
844 251 (2x) 844 251 (2x)
844 252 (2x) 844 252 (2x)
–
–
–
844 265
844 265
10 m
20 m
844 129
844 139
844 129
844 139
844 129
844 139
–
–
–
–
844 141
844 141
844 141
–
–
Leitung
10 m
20 m
844128
844138
844128
844138
844128 (2x)
844138 (2x)
–
–
–
–
400000323
400000323
400000323
(2x)
–
–
893 74
893 74 (2x)
–
–
–
840000V2000
840000V2010
–
–
–
–
–
–
–
840000V2200
840000V2210
–
–
–
–
892 46
–
–
–
–
–
–
840000V6000
–
–
–
–
–
–
–
840000V6200
–
–
Verbindungs-Leitung
Kompressor
CP 2000
CP 2000 A
CP 2200
CP 2200 A
CP 6000 D
CP 6000
CP 6200
Zubehör
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
GD 2
GD 4
–
–
–
1)
892 87
892 88
892 87 (2x)
892 88 (2x)
–
–
–
–
840000133
1)
–
–
1)
1)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (2x)
892 88 (2x)
892 87 (3x)
892 88 (3x)
840 253 (2x) 840 253 (2x)
–
–
–
840 254 (2x)
1)
21 C12
COOLVAC 5.000 CL
COOLVAC 10.000 CL
COOLVAC 5.000 CL
COOLVAC 10.000 CL
- Aufdampf-Anlagen
- Aufdampf-Anlagen
- Elektronenstrahl-Schweiss-Anlagen
- Weltraum-Simulationskammern
Ø 450
Ø 550
DN 400 ISO-K
640
COOLVAC
5.000
Ø 105
Maßzeichnung der COOLVAC 5.000 CL
C12 22
DN 500 ISO-K
704
COOLVAC
10.000
Ø 105
Maßzeichnung der COOLVAC 10.000 CL
COOLVAC
Technische Daten
5.000 CL
10.000 CL
DN
400 ISO-K
500 ISO-K
Vorvakuum-Flansch
DN
40 KF
40 KF
DN
16 KF
16 KF
DN
40 KF
40 KF
DN
40 KF
40 KF
4-polige Stromdurchführung für
Si-Diode auf Flansch
16 KF
16 KF
160
42
90
42
160
42
90
42
PT 100
Si-Diode
PT 100
Si-Diode
5/100
5/100
kg
42
50
min
100
150
Crossover-Wert
mbar . I
700
800
Saugvermögen
H2O
Ar / N2
H2
I . s-1
I . s-1
I . s-1
18 000
4 000 / 5 200
6 200
30 000
8 400 / 10 000
12 000
Kapazität
Ar / N2
H2 bei 10-6 mbar
bar
bar
3 000
32
5 500
45
. s-1
10
7
10
7
DN
1/2"
1/2"
DN
Heizungen
1. Stufe
W
V AC
W
V AC
2. Stufe
1. Stufe
2. Stufe
COOLPOWER
Gewicht
Max. Saugleistung
Ar / N2
H2
mbar . I
mbar . I
Helium-Anschlüsse
.
.
I
I
. s-1
23 C12
Bestelldaten
COOLVAC 5.000 CL
Europa
COOLVAC
5.000 CL, DN 400 ISO-K
10.000 CL, DN 500 ISO-K
USA/Japan
COOLVAC 10.000 CL
Europa
USA/Japan
Kat.-Nr. 844 410
Kat.-Nr. 844 410
–
–
–
–
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
–
–
844 610V0006
844 610V0006
Kat.-Nr. 844 230
Kat.-Nr. 844 230
Kat.-Nr. 844 230
Kat.-Nr. 844 230
Stromversorgung PS
230 V, 1 ph.
Kat.-Nr. 844 135
Kat.-Nr. 844 135
Kat.-Nr. 844 135
Kat.-Nr. 844 135
Kat.-Nr. 844 261
Kat.-Nr. 844 261
Kat.-Nr. 844 261
Kat.-Nr. 844 261
Kat.-Nr. 844 262
Kat.-Nr. 844 262
Kat.-Nr. 844 262
Kat.-Nr. 844 262
Kat.-Nr. 844 129
Kat.-Nr. 844 129
Kat.-Nr. 844 129
Kat.-Nr. 844 129
Kat.-Nr. 844 139
Kat.-Nr. 844 139
Kat.-Nr. 844 139
Kat.-Nr. 844 139
Kat.-Nr. 844 141
Kat.-Nr. 844 141
Kat.-Nr. 844 141
Kat.-Nr. 844 141
Kat.-Nr. 844 128
Kat.-Nr. 844 128
Kat.-Nr. 844 128
Kat.-Nr. 844 128
Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 840000V6000
–
Kat.-Nr. 840000V6000
–
–
Kat.-Nr. 840000V6200
–
Kat.-Nr. 840000V6200
siehe Bestelldaten
siehe Bestelldaten
siehe Bestelldaten
10 m
20 m
Leitung
Kompressor – Stromversorgung PS
10 m
20 m
Leitung
10 m
20 m
Kompressor
CP 6000
CP 6200
Stromversorgungs-Kabel
für Kompressor
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
und FL 4.5 (Elektrische
Verlängerungs-Leitung)
siehe Bestelldaten
Kompressor-Einheiten Kompressor-Einheiten Kompressor-Einheiten
COOLPAK
COOLPAK
COOLPAK
COOLPAK
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 893 74
C12 24
Notizen
25 C12
COOLVAC
18.000 CL
COOLVAC
30.000
COOLVAC
60.000
COOLVAC 60.000 LN2-gekühlt
auf Anfrage
COOLVAC 18.000 CL mit Sonderflansch
COOLVAC 30.000 mit Sonderflansch
COOLVAC 60.000 mit Sonderflansch
Hochvakuum
Hochvakuum
Hochvakuum
Wasserdampf und Stickstoff
- Schnelles, sicheres und effizientes
Regenerieren mit dem elektrischen
Regenerier-System
Regenerier-System
Regenerier-System
- Aufdampf-Anlagen
- Aufdampf-Anlagen
- Aufdampf-Anlagen
829
754
110
Ø1
37
0
5,625˚
11,25˚
Ø 1060 (35" ANSI)
Ø18
403
Ø1270
Ø1400
1550
603
572
721
787
886
30 °
Ø1305
112
714
,5˚
10
200
DN
689
658
Ø1310
30
Flange
DN16
16 KF
Flansch
DN
KF
608
400
130
125
Maßzeichnung der COOLVAC 18.000CL
C12 26
Maßzeichnung der COOLVAC 30.000
Flansch
Flange
63 KF
ISO-K
DNDN16
Maßzeichnung der COOLVAC 60.000
Technische Daten
COOLVAC 18.000 CL COOLVAC 30.000
COOLVAC 60.000
DN
630 ISO-F
35" ANSI
1250 ISO-F
Vorvakuum-Flansch
DN
63 ISO-K
63 ISO-K
63 ISO-K
Flansch mit Stromdurchführung
für Silizium-Diode
DN
25 KF (2x)
16 KF (2x)
16 KF (2x)
Flansch zur weiteren Verwendung
DN
40 KF
40 KF
40 KF
DN 40 KF für Gasabführungs-Leitung
DN
(Öffnungsdruck)
mbar
40 KF
1100
40 KF
1100
40 KF
1100
46 000
13 500 / 18 000
14 000 / 4 000
93 000
25 000 / 30 000
30 000 / 7 000
180 000
47 000 / 57 000
60 000 / 15 000
5 000
65
945
6500
100
9000
150
5/100 (2x)
5/100 (2x) und 140T (1x)
5/100 (2x) und 140T (2x)
mbar . I . s-1
mbar . I . s-1
14
7
14
7
25
12
mbar . I
850
1200
1000
min
180
260
330
Gesamthöhe
min
606
siehe Maßzeichnung
siehe Maßzeichnung
kg
Saugvermögen
H2O
Ar / N2
H2 / He
I
I
I
Kapazität
Ar / N2
H2 bei 10-6 mbar
H2O
bar . I
bar . I
I . s-1
Max. Saugleistung
Ar / N2
H2
. s-1
. s-1
. s-1
COOLPOWER
Crossover-Wert @ 20 K
65
245
450
eingebaut (2x)
eingebaut (2x)
eingebaut (2x)
Regenerier-Heizungen an der
ersten und zweiten Stufe des Kaltkopfes
eingebaut (2x)
–
–
Gewicht
Bestelldaten
Kryopumpe
COOLVAC 18.000 CL, 630 ISO-F
COOLVAC 30.000, 35" ANSI
COOLVAC 60.000, 1250 ISO-F
Kompressor-Einheit
COOLPAK 6000
COOLPAK 6200
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
und EL 4.5 (Elektrische
Kompakt-Steuerung und Kabelsatz
COOLVAC 18.000 CL COOLVAC 30.000
COOLVAC 60.000
Kat.-Nr. 844630V0006
–
–
–
auf Anfrage
–
–
–
auf Anfrage
auf Anfrage (2x)
auf Anfrage (2x)
auf Anfrage (2x)
auf Anfrage (2x)
auf Anfrage (4x)
auf Anfrage (4x)
Kat.-Nr. 892 87 (2x)
Kat.-Nr. 892 88 (2x)
Kat.-Nr. 892 87 (2x)
Kat.-Nr. 892 88 (2x)
Kat.-Nr. 892 87 (4x)
Kat.-Nr. 892 88 (4x)
Kat.-Nr. 893 74 (2x)
Kat.-Nr. 893 74 (2x)
Kat.-Nr. 893 74 (4x)
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
27 C12
Produkte Kryotechnik
Kaltköpfe, pneumatischer Antrieb
Einstufiger Kaltkopf, COOLPOWER 140 T
Einstufiger Kaltkopf COOLPOWER 140 T
- Weitgehend beliebige Einbaulage
- Kühlung von Pumpflächen in
Kryopumpen und damit Erzeugung
von Hoch- und Ultrahoch-Vakua
- Hohe Kälteleistung
- Keine flüssigen Kältemittel
erforderlich
- Meßfühler-Kalibrierung
und Halbleiter-Bauelementen
- Kurze Abkühlzeit
Ø 115
Ø 105
6
M4
(8x)
148,5
Länge
4,5 m
12
346
Schellenmitte
DN 160 ISO-K
10°
Ø 105
ca. 121
Maßzeichnung des COOLPOWER 140 T
C12 28
Technische Daten
COOLPOWER 140 T
Kälteleistung bei 50/60 Hz 1)
bei 80 K, ca.
bei 20 K, ca.
W
W
140
20
Tiefste erreichbare Temperatur 1)
K
ⱕ 15
min
ⱕ 55
Zulässige Umgebungstemperatur
ºC
+10 bis +40
He-Fülldruck bei Raumtemperatur
bar
16
He-Anschlüsse
selbstdichtende Verschraubungen
Hochdruck-Anschluss
Niederdruck-Anschluss
1/2" (#8 2) )
1/2" (#8)
kg
12
Länge der elektrischen Anschlussleitung
zur Kompressor-Einheit
m
4,5
Gewicht
Bestelldaten
Kaltkopf COOLPOWER 140 T
mit DN 160 ISO-K
Andere Flansche
COOLPOWER 140 T
Kat.-Nr. 842 030
Auf Anfrage
Zubehör
Kompressor-Einheit
(für den Betrieb eines Kaltkopfes)
COOLPAK 6000,
400 V/50 Hz; 470 V/60 Hz
COOLPAK 6200,
200 V/50 Hz; 200 V, 230 V/60 Hz
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
und FL 4.5 (Elektrische
Kat.-Nr. 840000V6000
Kat.-Nr. 840000V6200
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 893 74
Option
Temperatur-Messung
Silizium-Diode
Tieftemperatur-Anzeigegerät
Mess-Leitung
Kat.-Nr. 890 89
auf Anfrage
auf Anfrage
1)
Die angegebenen Kälteleistungen und Temperaturen gelten für vertikalen Betrieb mit kaltem Ende nach unten
2)
Serie 8 von Aeroquip
29 C12
Zweistufige Kaltköpfe
COOLPOWER 7/25, 5/100 und 5/100 T
Zweistufiger Kaltkopf COOLPOWER 7/25
Zweistufige Kaltköpfe COOLPOWER 5/100 und
COOLPOWER 5/100 T
- Beliebige Einbaulage
- Kühlung von Pumpflächen in
Kryopumpen und damit Erzeugung
von Hoch- und Ultrahoch-Vakua
- Hohe Kälteleistung
- Kurze Abkühlzeit
47,5
ø 47,5
Ansicht A
A
M4
6
32,2
40
- Messfühler-Kalibrierung
- Kühlung von BeschleunigerBauelementen in der HochenergiePhysik
- Kühlung von supraleitenden
Magneten; z.B. bei der Kern-SpinTomographie in der Medizin-Technik
(Nur COOLPOWER 5/100 und
5/100 T)
30°
6
6x
60
125,5
°
129
27
82,1
ø 69
B
Ansicht B
18
M4 x 7
60
92,2
115
47,5
3
110
8
°
45
x
80
6
45
°
474,5
ø 87
innen ø 75,5
130
490
129
108,5
19
149
117,5
105
135
135
13,5°
40
13,5°
105
127
ca. 12
0
20
ca. 1
Maßzeichnung des COOLPOWER 7/25
C12 30
60
128,7
M4
Maßzeichnungdes COOLPOWER 5/100 und
COOLPOWER 5/100 T
7/25
COOLPOWER
5/100
5/100 T
W
W
W
W
25
7
–
–
100
5
–
–
100
7,5
3,5
35
K
K
ⱕ 35
ⱕ 10
ⱕ 35
ⱕ 10
ⱕ 35
6
min
min
min
min
min
min
20
20
–
–
–
–
20
20
–
–
–
–
20
20
35
30
45
40
ºC
+5 bis +40
+5 bis +40
+5 bis +40
bar
16
16
16
1/2" (#8 2) )
1/2" (#8)
1/2" (#8 2) )
1/2" (#8)
1/2" (#8 2) )
1/2" (#8)
Technische Daten
Kälteleistungen bei 50/60 Hz
1. Stufe bei 80 K, ca.
1)
1. Stufe, ca.
2. Stufe, ca.
Abkühlzeit der
2. Stufe auf
1. Stufe auf
2. Stufe auf
1. Stufe auf
2. Stufe auf
1. Stufe auf
20 K, ca.
80 K, ca.
10 K, ca.
40 K, ca.
6 K, ca.
30 K, ca.
He-Anschlüsse
Hochdruck-Anschluss
Gewicht
kg
11
11
11
(Lieferumfang Kaltkopf)
m
4,5
4,5
4,5
7/25
COOLPOWER
5/100
5/100 T
Kat.-Nr. 842 040
–
–
–
Kat.-Nr. 893 05
–
–
–
Kat.-Nr. 129 78
Kat.-Nr. 400000323
im Lieferumfang
des Kaltkopfes enthalten
im Lieferumfang
des Kaltkopfes enthalten
–
–
–
–
Kat.-Nr. 840000V6000
Kat.-Nr. 840000V6200
–
–
–
–
Kat.-Nr. 840000V6000
Kat.-Nr. 840000V6200
3)
3)
3)
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 893 74
Kat.-Nr. 890 89
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
Kat.-Nr. 842 400
Kat.-Nr. 842 401
Kat.-Nr. 890 89
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
Kat.-Nr. 842 400
Kat.-Nr. 842 401
Kat.-Nr. 890 89
auf Anfrage
auf Anfrage
auf Anfrage
Kat.-Nr. 842 400
Kat.-Nr. 842 401
Bestelldaten
Kaltkopf
COOLPOWER 7/25
COOLPOWER 5/100
COOLPOWER 5/100 T
Zubehör
Verbindungs-Leitung
Kompressor – Kaltkopf, 4,5 m
Kompressor-Einheit
(für den Betrieb eines Kaltkopfes)
COOLPAK 2000
COOLPAK 2000 A
COOLPAK 2200
COOLPAK 2200 A
COOLPAK 6000
COOLPAK 6200
FL 4.5 (1/2", 1/2")
oder FL 9.0 (1/2", 1/2")
und EL 4.5 (Elektrische
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
Kat.-Nr.
840000V2000
840000V2010
840000V2200
840000V2210
–
–
Option
Temperatur-Messung/-Regelung
Silizium-Diode
Tieftemperaturen-Anzeigegerät
Mess-Leitung
Elektrische Heizungen
Mess-Leitung, 3 m
1)
3)
2)
31 C12
Kaltköpfe, mechanischer Antrieb
Zweistufiger Kaltkopf, COOLPOWER 10 MD
COOLPOWER 10 MD - der stärkste
10 K GM-Kaltkopf auf dem Markt:
- Hohe Kühlleistung der zweiten
Stufe von > 18 W bei 20 K
- Hohe Kühlleistung der ersten Stufe
von > 25 W bei 40 K und ca.
110 W bei 80 K
Zweistufiger Kaltkopf COOLPOWER 10 MD
- Ausgezeichnete Kühl-Leistung
- Höchst zuverlässig
Der COOLPOWER 10 MD ist ein
mechanisch angetriebener zweistufiger
Gifford McMahon (GM) Kaltkopf ideal
geeignet zur
- Konstruktion optimiert für eine
mittlere Zeit zwischen zwei Ausfällen
(MTFB) von > 100.000 Stunden
- Kühlung von Kryoproben in kernmagnetischen Resonanz-Spektrometern (NMR)
- Langer und wartungsfreier Betrieb
- Kühlung der Abschirmung in supraleitenden Magneten in Kernspintomographen (MRI)
- 18 Watt bei 20 K auf Knopfdruck
- Geringe Vibrationen durch den
direkt angetriebenen Verdränger
- Sehr einfache Bedienung
- Kurze Abkühlzeit
- Einstecken und kühlen - wie
üblich für alle GM Kaltköpfe von
Oerlikon Leybold Vacuum
- Einfache Veränderung der
Motordrehzahl durch die neue
COOLPAK MD Kompressoreinheit
- Kühlung von Kaltflächen in SpezialKryopumpen; dadurch wird die Erzeugung von Hochvakuum- und
Ultra-Hochvakuum-Drücken ermöglicht
- Kühlung von größeren Proben und
Bauteilen; insbesondere
- Hochtemperatur supraleitende
Spulen, Geräte und Massengut
- Rekondensation von flüssigen
Kältemitteln wie Wasserstoff
oder Neon
- Proben für die spektrometrische
Analyse in der Festkörper- und
Oberflächenphysik
- Infrarot und Gammadetektoren
- Kalibrierung von Sensoren
C12 32
104
25
98
75
26
Ø 172
30°
22,5°
45
128
(179,3)
Ø 154
51,3
10
M4x6
Ø 120
Ø 190
Ø 8,5
Ø 84
Ø 85,5
Dichtungsbereich
für O-Ringe
Ø 96
56
12
Ø 47,2
364,2
214
Ø 112
Ø 96,5
Ø 38
200
Ø 122
Ø 47,5
62
125
160
12
Ø 56
Maßzeichnung des COOLPOWER 10 MD
Technische Daten
COOLPOWER 10 MD
Kälteleistungen bei 50/60 Hz 1)
W
W
110
18
1. Stufe, ca.
2. Stufe, ca.
K
K
ⱕ 28
ⱕ8
Abkühlzeit der
2. Stufe auf 20 K, ca.
min
25
ºC
+5 bis +40
bar
16
He-Anschlüsse
Hochdruck-Anschluss
Gewicht
1/2" (#8 2))
1/2" (#8)
kg
Bestelldaten
Kaltkopf COOLPOWER 10 MD
Zubehör
1)
2)
20
COOLPOWER 10 MD
Kat.-Nr. 842 010
siehe Bestelldaten zur Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 MD/6200 MD,
Verbindungs- und Druck-Leitungen
33 C12
Kompressor-Einheiten für Kaltköpfe
pneumatischer Antrieb, Luftkühlung
COOLPAK 2000 A/2200 A
Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 A (2200 A ähnlich)
- Hoher Wirkungsgrad und gesteigerte Leistungsfähigkeit für Kryopumpen und Refrigeratoren
- Hohe Langzeit-Zuverlässigkeit durch
langlebige und hocheffiziente
Komponenten und verbessertes
Ölmanagement
- Sehr leiser und vibrationsarmer Lauf
durch innovativen horizontal gelagerten Scroll-Verdichter
- Einfache Installation und Bedienung
- Globale Spannungskompatibilität
- Problemlose Integration in komplexe Anlagen durch 24 V Sub-DSchnittstelle
- Einfacher Adsorberwechsel, ansonsten wartungsfrei
- Niedrige Betriebskosten
Maßzeichnung des COOLPAK 2000 A/2200 A
C12 34
Technische Daten
COOLPAK
2000 A (50 Hz)
Anzahl der elektrischen Anschlüsse
für Kaltköpfe
2200 A (60 Hz)
1
1
bar
15
14
ºC
+5 bis +30
+5 bis +30
Netzspannung (1-Phase)
V
230 ± 10%
208 ± 10%
Betriebsstrom
mit abgekühltem Kaltkopf
mit erwärmten Kaltkopf
A
A
9,5 bis 10,5
12,0
11,5 bis 12,5
13,0
kW
kW
2,2
2,4
2,3
2,5
V DC
24
24
Helium-Anschlüsse
Hochdruck-Seite (Außengewinde)
Niederdruck-Seite (Außengewinde)
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
Geräuschpegel (in 1 m Entfernung)
< 55
< 55
445 x 607 x 400
445 x 607 x 400
69
69
Helium-System-Fülldruck bei
Raumtemperatur
Umgebungstemperatur
Elektrische Leistungsaufnahme
Fernbedienung über Interface
Abmessungen (B x H x T)
Gewicht
dB(A)
mm
kg
Bestelldaten
COOLPAK
2000 A (50 Hz)
2200 A (60 Hz)
Kat.-Nr. 840000V2010
Kat.-Nr. 840000V2210
Zubehör optional
19" Installationskit
Kat.-Nr. 840 022
Kat.-Nr. 840 022
Ersatzteile
Adsorber CPS-V8
Kat.-Nr. 840 001 973
Kat.-Nr. 840 001 973
Kompressor-Einheit
35 C12
pneumatischer Antrieb, Wasserkühlung
COOLPAK 2000/2200
Kompressor-Einheit COOLPAK 2000 (2200 ähnlich)
- Hoher Wirkungsgrad und gesteigerte Leistungsfähigkeit für Kryopumpen und Refrigeratoren
langlebige und hocheffiziente
Komponenten und verbessertes
Ölmanagement
- Sehr leiser und vibrationsarmer Lauf
durch innovativen horizontal gelagerten Scroll-Verdichter
- Problemlose Integration in komplexe Anlagen durch 24 V Sub-DSchnittstelle
- Einfacher Adsorberwechsel, ansonsten wartungsfrei
Maßzeichnung des COOLPAK 2000/2200
C12 36
Technische Daten
COOLPAK
2000 (50 Hz)
für Kaltköpfe
2200 (60 Hz)
1
1
bar
15
14
ºC
+5 bis +40
+5 bis +40
<5
<5
ºC
+5 bis +25
+5 bis +25
Netzspannung (1-Phase)
V
230 ± 10%
208 ± 10%
Betriebsstrom
A
A
9,5 bis 10,5
12,0
11,5 bis 12,5
13,0
kW
kW
2,2
2,4
2,3
2,5
V DC
24
24
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
10
10
< 55
< 55
445 x 395 x 400
445 x 395 x 400
69
69
Raumtemperatur
Umgebungstemperatur
Kühlwasser-Verbrauch
Kühlwasser-Eintrittstemperatur
Helium-Anschlüsse
Wasseranschlüsse
Gewicht
DN
dB(A)
mm
kg
Bestelldaten
COOLPAK
2000 (50 Hz)
2200 (60 Hz)
Kat.-Nr. 840000V2000
Kat.-Nr. 840000V2200
Zubehör optional
19" Installationskit
Kat.-Nr. 840 022
Kat.-Nr. 840 022
Ersatzteile
Adsorber CPS-V8
Kat.-Nr. 840 001 973
Kat.-Nr. 840 001 973
Kompressor-Einheit
37 C12
pneumatischer Antrieb, Wasserkühlung
COOLPAK 4000/4200
COOLPAK 6000/6200
Kompressor-Einheit COOLPAK 4000/4200 (COOLPAK 6000/6200 ähnlich)
- Hoher Wirkungsgrad und gesteigerte Leistungsfähigkeit für
Oerlikon Leybold Vacuum-Kryopumpen und -Refrigeratoren
- Problemlose Integration in komplexe Anlagen durch 24 V DC oder
RS 232 C-Schnittstelle
modularen Aufbau und langlebige
und hocheffiziente Komponenten
- Nahezu wartungsfrei
- Leiser und vibrationsarmer Lauf
durch innovativen Scroll-Verdichter
36
528
230
152
61
51
448
511
70
146
199
407
440
Maßzeichnung des COOLPAK 4000/4200 und COOLPAK 6000/6200
C12 38
Technische Daten
COOLPAK
4000
für Kaltköpfe
Raumtemperatur
bar
Umgebungstemperatur
6000
6200
50 Hz
60 Hz
50 Hz
60 Hz
50 Hz
60 Hz
50 Hz
60 Hz
1
1
1
1
1
1
1
1
14
13
14
13
15
14
14
13
ºC +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40 +5 bis +40
Kühlwasserverbrauch 1)
l/min
Kühlwasser-Eintrittstemperatur
3,5
3,5
3,5
3,5
5,0
5,0
5,0
5,0
ºC +5 bis +25 +5 bis +25 +5 bis +25 +5 bis +25 +5 bis +25 +5 bis +25 +5 bis +25+5 bis +25
Netzspannung (3 Phasen)
bei Auslieferung
V
alternative Einstellung
V
Betriebsstrom
400
± 10%
–
–
kW 3,8 bis 4,5
kW
5,3
200 2)
+10%-5%
230
± 10%
200
± 10%
230 3)
-10%
470
± 10%
A 6,4 bis 7,4
8,5
400
± 10%
–
–
470
± 10%
230 3)
-10%
200
± 10%
230
± 10%
200
± 10%
6,2 bis 7,3 14,6 bis 16,5 13,8 bis 17,0 9,5 bis 10,5 9,0 bis 10,0 15,5 bis 22,0 16,0 bis 23,0
8,1
18,3
19,5
13,7
12,0
25,0
25,0
4,2 bis 5,3
5,8
4,0 bis 4,6
5,3
4,4 bis 5,3
5,9
6,0 bis 6,5
8,2
6,5 bis 6,9
8,7
5,5 bis 6,2
7,6
5,9 bis 6,7
7,8
A)
A)
A)
A)
A)
A)
A)
A)
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
B)
B)
B)
B)
B)
B)
B)
B)
dB(A)
53
53
53
53
53
53
53
mm
C)
C)
C)
93
93
Helium-Anschlüsse
Wasseranschlüsse
4200
Gewicht
kg
C)
C)
53
C)
C)
C)
93
93
94
94
94
94
COOLPAK
Bestelldaten
4000
Europa
Kompressor-Einheit
ohne Stromversorgungskabel
Anschluß für 1 Kaltkopf
4200
USA/Japan
Kat.-Nr. 892 31
Anschluß für 2 Kaltköpfe
Europa
–
–
Kat.-Nr.
893 95
–
–
Kat.-Nr.
893 96
–
–
–
Kat.-Nr.
893 96
–
–
–
–
–
–
Kat.-Nr. 840 110
Kat.-Nr. 840 111 6)
Kat.-Nr. 840 112 6)
–
–
–
–
–
–
Kat.-Nr.
893 95
Kat.-Nr. 892 33
6200
USA/Japan
Kat.-Nr.
840000V6000
oder
892 36
Kat.-Nr. 892 46 5)
Kat.-Nr. 892 3000
3,5 m, CEE-Stecker, 32 A/6h, 3 Pol+N+PE
3,5 m, NEMA-Stecker, L 16-20 P,
20 A/480 V, 3 Pol+PE (AWG 12)
20 A/250 V, 4 Pol-PE (AWG 12)
10 m, Aderendhülsen (AWG 10)
6000
USA/Japan
4)
Zubehör
Kat.-Nr. 840000133
Ersatzteile
Adsorber CACP 4000/6000
Kat.-Nr.
893 52
Kat.-Nr.
893 52
Kat.-Nr. 840000133
Kat.-Nr. 840000133
Kat.-Nr.
893 52
Kat.-Nr. 893 52
Kat.-Nr.
893 52
USA/Japan
Kat.-Nr.
840000V6200
oder
892 37
–
–
–
–
Kat.-Nr. 840 111
Kat.-Nr. 840 112
6)
6)
Kat.-Nr. 840000133
Kat.-Nr. 893 52
1)
Bei Kühlwasser-Eintrittstemperatur von 25 ºC
2)
± 10% mit Fülldruck 12 bar
3)
Mit Fülldruck 13 bar
4)
COOLPAK 4000 D
5)
COOLPAK 6000 D
6)
auch einsetzbar bei COOLPAK 4000(D)/6000(D)
A)
24 V DC oder RS 232 C
B)
Schlauchtülle DN 12 / G 1/2" Außengewinde
C)
440 x 589 x 511
39 C12
mechanischer Antrieb, Wasserkühlung
COOLPAK 6000 MD/6200 MD
Dient zum Einzel-Betrieb der Kaltköpfe mit mechanisch angetriebenem
Verdrängerkolben; d.h. COOLPOWER
10 MD, aber auch ältere Kaltköpfe wie
COOLPOWER 150, 130, 4.2 GM,
0.5 WATT und 4.2 ONE WATT.
Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 MD/6200 MD (ähnlich COOLPAK 4000/4200)
- Kompakt
- Fernsteuerbar
- Umschaltbare Spannungen
- Geräuscharm
- UL-approbiert
- Lange, wartungsfreie Betriebsdauer
- Variable Kaltkopfmotor-Drehzahl
36
528
230
152
61
51
448
511
70
146
199
407
440
Maßzeichnung des COOLPAK 6000 MD/6200 MD
C12 40
COOLPAK
Technische Daten
Netzspannung
6000 MD
6200 MD
50 Hz, 400 ± 10%
60 Hz, 460 ± 10%
50 Hz, 200 ± 10%
60 Hz, 200 - 230 ± 10%
Alle anderen technischen Daten siehe COOLPAK 6000 und 6200
COOLPAK
Bestelldaten
Kompressor-Typ
400 V/3-ph. 50 Hz oder
460 V/3-ph. 60 Hz ± 10 %
200 V/3-ph. 50 Hz oder
200-230 V/3-ph. 60 Hz ± 10 %
Flexible Druckleitung (zum Betrieb
mechanisch angetriebener Kaltköpfe)
06 m (Hochdruck)
FL6 HP-DN 20 (8f/8f)
06 m (Niederdruck)
FL6 LP-DN 16 (8f/8f)
09 m (Hochdruck)
FL9 HP-DN 20 (8f/8f)
09 m (Niederdruck)
FL9 LP-DN 16 (8f/8f)
20 m (Hochdruck)
FL20 HP-DN 16 (8f/8f)
20 m (Niederdruck)
FL20 LP-DN 16 (8f/8f)
Verbindungskabel zu den Kaltköpfen
COOLPOWER 10 MD, 150, 130, 4.2 G,
0.5 WATT und 4.2 ONE WATT
09,0 m
20,0 m
30,0 m
3,5 m, CEE-Stecker, 32 A/6h, 3 Pol+N+PE
20 A/480 V, 3 Pol+PE (AWG 12)
Zubehör
1)
6000 MD
6200 MD
Kat.-Nr. 892 42
–
–
Kat.-Nr. 892 43
Kat.-Nr. 840 210
Kat.-Nr. 840 210
Kat.-Nr. 840 211
Kat.-Nr. 840 211
Kat.-Nr. 840 217
Kat.-Nr. 840 217
Kat.-Nr. 840 218
Kat.-Nr. 840 218
Kat.-Nr. 840 230
Kat.-Nr. 840 230
Kat.-Nr. 840 231
Kat.-Nr. 840 231
Kat.-Nr. 842 110
Kat.-Nr. 842 112
Kat.-Nr. 842 114
Kat.-Nr. 842 110
Kat.-Nr. 842 112
Kat.-Nr. 842 114
Kat.-Nr. 893 95
–
Kat.-Nr. 893 96
–
–
–
Kat.-Nr. 840 111 1)
Kat.-Nr. 840 112 1)
Kat.-Nr. 840 000 133
Kat.-Nr. 840 000 133
auch einsetzbar bei COOLPAK 4000(D)/6000(D)
41 C12
Zubehör
Allgemeines Zubehör für
Kompressor-Einheiten COOLPAK
Technische Daten
Länge
beidseitige Anschlüsse (Innengewinde)
Hochdruck-Leitung (HD)
Flexible Druckleitungen 1), 2)
FL 4.5 (1/2", 1/2")
FL 9.0 (1/2", 1/2")
4,5 m
9,0 m
Zubehör zu flexiblen Druckleitungen
Leitungs-Adapter für
flexible Druckleitungen
AD (1/2" m, 3/4" f)
AD (1/2" f, 3/4" m)
Niederdruck-Leitung (ND)
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
Übergang
Übergang
Außengewinde (m)
Innengewinde (f)
1/2"
3/4"
90º-Rohrbogen 1/2" für
flexible Druckleitungen
Isolier-Zwischenstück 1/2"
für flexible Druckleitungen
3/4"
1/2"
Anschlüsse
Anschlüsse
Außengewinde (m)
Innengewinde (f)
1/2"
1/2"
1/2"
1/2"
Anschlüsse beidseitig
Außengewinde (m)
Leitungs-Kupplung 1/2" zum Verbinden
von zwei 1/2" flexiblen Druckleitungen
untereinander
Gas-Verteiler-System (jeweils 1 Stück)
GD 2 (für 2fach-Betrieb) 2)
GD 4 (für bis zu 4fach-Betrieb) 2))
1/2"
Gas-Verteiler
Gas-Verteiler-Anschlüsse
(benötigte Menge)
Kompressor-seitig (Innengewinde) Kaltkopf-seitig (Außengewinde)
2
2
1/2"
1/2"
2 x 1/2"
4 x 1/2"
Länge
Verlängerungskabel zur Verbindung von
Kaltkopf und Kompressor-Einheit EL 4.5
Bestelldaten
4,5 m
Allgemeines Zubehör
Flexible Druckleitungen 1), 2)
FL 4.5 (1/2", 1/2")
FL 9.0 (1/2", 1/2")
Kat.-Nr. 892 87
Kat.-Nr. 892 88
Übergangs-Stück
AD (1/2" m, 3/4" f)
AD (1/2" f, 3/4" m)
Kat.-Nr. 892 89
Kat.-Nr. 892 90
90º-Rohrbogen 1/2"
Kat.-Nr. 891 73
Leitungs-Kupplung 1/2"
Kat.-Nr. 891 71
Gas-Verteiler-System (jeweils 1 Stück)
GD 2 (für 2fach-Betrieb) 2)
GD 4 (für bis zu 4fach-Betrieb) 2)
Kat.-Nr. 840 253 (2x)
Kat.-Nr. 840 254 (2x)
Verlängerungs-Kabel EL 25 zur Verbindung
von Kaltkopf und Kompressor-Einheit 2)
Kat.-Nr. 200 20 900
Verlängerungs-Kabel EL 4.5 zur Verbindung
von Kaltkopf und Kompressor-Einheit 2)
Kat.-Nr. 893 74
Alle flexiblen Druck-Leitungen, Übergangs-Stücke, Rohrbögen, Isolier-Zwischenstücke, Leitungs-Kupplungen und Gas-Verteiler-Systeme sind mit selbstdichtenden Aeroquip-Verbindern ausgestattet und ab Werk mit hochreinem Helium-Gas (Reinheit: 99,999%) gefüllt. Der Fülldruck beträgt 16 bar
1) Minimaler Biegeradius: 30 cm
2) Nur geeignet für pneumatisch angetriebene Kaltköpfe und Kryopumpen
C12 42
Refrigerator-Kryostat
auf Basis RDK 6-320
1
233
274,5
124
42,5
ø30,2
Die Basis-Einheit RDK 6-320 beinhaltet
den zweistufigen Kaltkopf
COOLPOWER 5/100 T. Seine hohe
Kälteleistung ermöglicht bei tiefen
Temperaturen Experimente, die bislang
mit Refrigeratoren nicht durchgeführt
werden konnten und den Einsatz von
flüssigem Helium erforderlich machten.
Die Basis-Einheit RDK 6-320 ist ein
Komplett-System für Messungen im
Temperatur-Bereich von 6 bis 320 K.
Der Kaltkopf COOLPOWER 5/100 T
wird ergänzt durch
30°
- Silizium-Diode zur TemperaturMessung an der 2. Kaltkopf-Stufe
- Heizung an der 2. Kaltkopf-Stufe
mit Übertemperatur-Schutz
- 11-polige Stromdurchführung mit
passendem Aussenstecker
Basis-Einheit RDK 6-320
- Pumpstutzen DN 25 KF
- Vakuumflansch DN 160 ISO-K
- Kompakte Abmessungen
- Hohe Zuverlässigkeit
- Umfangreiches Zubehör aus einer
Hand
- Beliebige Einbaulage
- Kurze Abkühlzeit
- Kostengünstiger Einsatz bei Langzeit-Experimenten, da kein flüssiges
Helium erforderlich
- Einfacher und schneller Service
durch Verwendung des Kaltkopfes
COOLPOWER 5/100 T mit pneumatischem VerdrängerkolbenAntrieb
- Proben- und Detektor-Kühlung
- Material-Forschung und -Prüfung
- Spektroskopische Anwendungen
- Matrix-Isolations-Spektroskopie mit
Neon und Argon
Generelle Anmerkungen zu
Refrigerator-Kryostaten
Isoliervakuum
Temperatur-Messung
Temperatur-Regelung
Zur Erzeugung des Isoliervakuums genügt im Allgemeinen eine zweistufige
Drehschieber-Vakuumpumpe, die jedoch saugseitig mit einer Adsorptionsfalle und einem Absperrventil ausgerüstet sein sollte.
Um Messfehler aufgrund thermischer
Übergangswiderstände auszuschliessen, sollte die Messung der Temperatur an der Probe zweckmässigerweise über eine zweite, optionale SiliziumDiode erfolgen, die möglichst nahe an
der Probe montiert ist. Sie soll möglichst auf dem gleichen thermischen
Niveau wie die Probe liegen.
Die Regelung der Temperatur an der
2. Kaltkopf-Stufe (bzw. an der Probe)
erfolgt (bei laufendem Kaltkopf) durch
Heizen gegen die Kälteleistung des
Refrigertors.
Kommt es bei der Anwendung darauf
an, die Belegung der Kaltflächen mit
Kohlenwasserstoffen auszuschließen,
so empfehlen wir den Einsatz eines
kleinen Turbo-Molekular-Pumpstandes
PT 50 (siehe Produkt-Kapitel C10
„Turbo-Molekular-Pumpstände“).
43 C12
Optischer Refrigerator-Kryostat
auf Basis RDK 6-320
Aufgerüstet als optischer Kryostat
(Option) ist der RDK 6-320 maßgeschneidert für Experimente mit
Temperaturen bis zu ca. 7 K.
Lieferumfang
- Basis-Einheit RDK 6-320
- Temperatur-Dämpfscheibe aus
Pb Sn
- Probenhalter aus Al 99.5
- Strahlenschild aus E-Cu
- Vakuum-Mantel aus Al / Edelstahl
- 5 auswechselbare Fenster (4 seitliche Fenster, 1 in der Längsachse
des Kryostaten);
2 seitliche und das Fenster in der
Längsachse sind aus SUPRASIL I,
die beiden anderen Fenster sind
blindgeflanscht und aus Messing
Optischer Refrigerator-Kryostat RDK 6-320
ø26
ø80
ø60
317
269
ø130
4
88
36,4°
ø15
Blindplatte
88
ø26
Suprasil I Scheibe
Maßzeichnung des optischen Refrigerator-Kryostats
C12 44
Schnitt durch den Fensterbereich
Technische Daten
RDK 6-320
Temperatur-Bereich
der 2. Kaltkopf-Stufe
der 1. Kaltkopf-Stufe
K
K
6 bis 320
28 bis 320
an der 2. Stufe des Kaltkopfes
eingebaut
Heizung
an der 2. Stufe des Kaltkopfes
eingebaut
Heizleistung
W
50
Heizstrom
A
1
V DC
50
Heizpannung
ºC
+5 bis +40
bar
16
He-Anschlüsse
1/2"
1/2"
m
Gewicht
kg
Bestelldaten
4,5 (Lieferumfang)
13
RDK 6-320
Basis-Einheit RDK 6-320
Kat.-Nr. 842 403
Optischer Kryostat bestehend aus
RDK 6-320 und Erweiterungssatz ROK
Kat.-Nr. 842 404
Kompressor-Einheit
COOLPAK 6000,
400 V/50 Hz; 470 V/60 Hz
COOLPAK 6200,
200 V/50 Hz; 200 V, 230 V/60 Hz
FL 4.5 (1/2", 1/2")
Kat.-Nr. 840000V6000
Kat.-Nr. 840000V6200
Kat.-Nr. 892 87
Temperatur-Messung an 2. Stufe mit
Kat.-Nr. 842 400
Mess-Leitung, 3 m lang
Kat.-Nr. 842 401
45 C12
Zubehör zu Kryopumpen / Kryotechnik
Steuerungs- und Überwachungs-Geräte
für Kryopumpen
- Schnittstelle zur kundenseitigen
System-Steuerung
- Für den automatischen Betrieb der
COOLVAC Kryopumpen der Reihe
ClassicLine
- Leicht in die kundenseitige SystemSteuerung integrierbar
- Sicher beim Pumpen von
Wasserstoff
System Controller COOLVAC SC
Technische Merkmale
Der intelligente COOLVAC-System
Controller SC steuert und überwacht
automatisch bis zu 30 COOLVAC
Pumpen.
On-Line Überwachung, Hilfefunktionen
und eine Wartungs-Schnittstelle zur einfachen Diagnose sind nur einige der
bedienerfreundlichen Merkmale.
Der System Controller kann alleine
oder ferngesteuert über eine Schnittstelle betrieben werden.
- 1/4 19" Einbau-Modul
- 3 Höhen-Einheiten
- Abmessungen (B x H x T)
106 x 129 x 178 mm
- Bedienung über Drucktasten
Lieferumfang
- Netzwerk-Abschlussstecker
(Kat.-Nr. 400 000 114)
- Stecker Hardware Interlock
(Kat.-Nr. 400 000 133)
- O-Modem-Adapter zum Anschluss
an den PC
COOLVAC SC
Technische Daten
Betriebsspannung
Zufuhr über RS 485 C-Leitung vom COOLVAC PM
mm
106 x 129 x 178 (1/4 19", 3 HE)
Bestelldaten
COOLVAC SC
Kat.-Nr. 844 230
mit Profibus-Schnittstelle
Kat.-Nr. 844 230V0004
C12 46
Stromversorgung PS für bis zu 2 Kryopumpen
Technische Merkmale
Die COOLVAC Stromversorgung PS
liefert die Leistung für den Kaltkopfmotor, die elektrischen Heizungen und
liefert die Betriebsspannungen für die
Elektronik von bis zu 2 COOLVACPumpen.
Vom System Controller SC gesteuert,
schaltet die Stromversorgung PS die
Kompressor-Einheit ein und aus, wenn
dies von den angeschlossenen Pumpen angefordert wird.
- 19" Einbau-Modul
483 x 135 x 320 mm
Lieferumfang
Stromversorgung PS
- Ca. 3 m lange Netz-Anschlussleitung
In die Einbau-Lücke passt der System
Controller COOLVAC SC (gehört nicht
zum Lieferumfang)
PS
Technische Daten
für Doppel-Anschluss
Leistungsaufnahme, ca.
Anschlussspannung,
werkseitig eingestellt
(optional 115 V AC möglich 1))
VA
900
V AC
230
Ausgangsleistung
W
Rackmontage
2 x 250
über 19" Einbaurahmen
C12
Gewicht
mm
kg
Bestelldaten
483 x 135 x 320 (3/4 19", 3 HE)
10
PS
Stromversorgung PS
1)
Kat.-Nr. 844 135
bitte Oerlikon Leybold Vacuum kontaktieren
47 C12
Stromversorgung PS für bis zu 3 Kryopumpen
Technische Merkmale
Die COOLVAC Stromversorgung PS
liefert die Leistung für den Kaltkopfmotor, die elektrischen Heizungen und
liefert die Betriebsspannungen für die
Elektronik von bis zu 3 COOLVACPumpen.
Vom System Controller SC gesteuert,
schaltet die Stromversorgung PS die
Kompressor-Einheit ein und aus, wenn
dies von den angeschlossenen Pumpen angefordert wird.
- 19"-Einbau-Modul
483 x 177 x 440 mm
- Korrekte Drehrichtungs-Anzeige für
das Drehfeld des Stromes mit einer
LED
Stromversorgung PS
Lieferumfang
- Ohne Stecker montierte 20 m lange
Netz-Anschlussleitung
- 19"-Befestigungs-Laschen für
Rack-Einbau
PS
Technische Daten
für Mehrfach-Anschluss
Nennspannung
Auslieferzustand
umschaltbar auf
V AC
V AC
Spannungstoleranz
Frequenzbereich
3 x 200 + PE
3 x 400 + PE
3 x 460 bis 480 + PE
± 10%
Hz
Absicherung
47 bis 63
Leistungsschalter
Umgebungstemperatur-Bereich
°C
0 bis +40
Schutzart
IP
20
(ohne Griffe)
mm
Gewicht (inklusive Kabel)
kg
Bestelldaten
483 x 177 x 440 (19", 4 HE)
38,8
PS
Stromversorgung PS
C12 48
Kat.-Nr. 844 235
Einfach-Betrieb
COOLVAC
#1
PM
1
4
5
SC
3
PS
2
COOLPAK
KOMPRESSOR
6
RS 232 C
Kunden-PC
PM
SC
PS
1
2
3
4
5
6
=
=
=
=
=
=
=
=
=
Pump-Modul (im Lieferumfang der Pumpe enthalten)
System Controller, Kat.-Nr. 844 230
Stromversorgung, Kat.-Nr. 844 135
z.B. Kat.-Nr. 844 262
z.B. Kat.-Nr. 844 139
z.B. Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 400 000 323 (Nur für COOLVAC 1500 CL, 2000 CL und 3000 CL nötig)
Kat.-Nr. 844 141
Kundenseitige Bereitstellung
Einfache System-Konfiguration
49 C12
Zweifach-Betrieb
Nur für europäischen Netzspannungs-Bereich und für Kompressor für Doppel-Betrieb
7
COOLVAC
#1
COOLVAC
#2
PM
PM
1
3
3
4
5
SC
2
PS
4
COOLPAK
KOMPRESSOR
für Doppel-Betrieb
6
RS 232 C
Kunden-PC
PM
SC
PS
1
2
3
4
5
6
7
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
z.B. Kat.-Nr. 844 262
z.B. Kat.-Nr. 844 139
z.B. Kat.-Nr. 844 138
Kat.-Nr. 400 000 323 (Nur für COOLVAC 1500 CL, 2000 CL und 3000 CL nötig)
Kat.-Nr. 844 141
z.B. Kat.-Nr. 844 256
Zweifache System-Konfiguration
C12 50
Zweifach und Mehrfach-Betrieb
7
7
COOLVAC
#1
7
COOLVAC
#2
PM
PM
COOLVAC
#3
PM
8
1
8
8
PS
SC
RS 232 C
9
6
Kunden-PC
PM
SC
PS
1
6
7
8
9
=
=
=
=
=
=
=
=
COOLPAK
KOMPRESSOR
z.B. Kat.-Nr. 844 262
z.B. Kat.-Nr. 844 256
z.B. Kat.-Nr. 844 252
Kat.-Nr. 844 265
Zweifache und mehrfache System-Konfiguration
51 C12
Technische Daten
Netzanschluss, 50/60 Hz
Leistungsaufnahme, max.
Modell 9700
V AC
W
3 x 4 Folien-Tastatur
Datenspeicher
EPROM
Zweizeilige 20-stellige LED-Digitalanzeige
Temperatur-Messung
Messfühler
- PID-Regler mit MikroprozessorSteuerung
Messstrom
Messbereich
µA
K
2 x Silizium Diode Typ D oder
2 x Silizium-Diode mit Standard-TemperaturWiderstands-Charakteristik
10
1,5 bis 450
K
1,4 bis 325 K
Temperatur-Bereich der
Silizium-Diode Typ D
Anzahl der Kanäle
- Digitale Temperatur-Anzeige in
Kelvin
Anzeige
- Regelung der Temperatur durch
Gegenheizen
Schalt-Ausgänge
- Hohe Regelgenauigkeit im gesamten Temperatur-Bereich
(1,5 bis 450 K)
Temperatur-Regelung
- Elektrische Heizleistung bis
zu 50 W
A/D-Wandler Auflösung
2
Gleichzeitige Anzeige beider Kanäle
bit
- Erzeugung linearer TemperaturRampen
- Bis zu 50 Programm-Schritte programmierbar
- Serienmäßige Rechner-Schnittstelle
RS 232 C und IEEE-488
24
2 Relais (Öffner und Schließer)
Temperatur-Auflösung
K
0,1
PID-Regler
Heiz-Leistung, max.
W
50
Heiz-Strom, max.
A
1
Heiz-Spannung, max.
V DC
Rechner-Schnittstelle
- Programmierbare HeizleistungsBegrenzung
150
Dateneingabe
Display
85 bis 240
Zulässige Umgebungs-Temperatur
RS 232 C und IEEE-488
°C
Mechanischer Aufbau/Gehäuse
[Höhe H ohne Füße]
Gewicht
0 bis 50
+10 bis +30
Tischgerät (8,5" x 3,5" x 12")
mm
kg
Abmessungen der Verpackung
(B x H x T)
mm
215,9 x 88 x 304,8
2,3
360 x 230 x 450
Gewicht (inkl. Verpackung, ca.)
kg
4,2
- Anzeige von zwei Messfühlern
möglich
Länge des Netzkabels
m
2,5
- Temperatur-Analogausgänge für
beide Kanäle
Bestelldaten
Modell 9700
Kat.-Nr. 842 400
Mess-Leitung, 3 m lang
Kat.-Nr. 842 401
- In drei Betriebsarten einsetzbar
- Manueller Betrieb
- Programm-Betrieb
- Externe Rechner-Ansteuerung
Silizium-Diode, Typ D,
mit Anschluss-Leitung und Kleinstecker
Kat.-Nr. 890 89
- Temperatur-Regelung bei
Refrigerator-Kryostaten
C12 52
Tieftemperatur-Anzeigegerät MODEL 211S
Tieftemperatur-Anzeigegerät MODEL 211S
- Versorgung einer Silizium-Diode
- Dreistelliges LED-Display
- Temperaturanzeige zwischen
1 und 450 Kelvin
- Zwei Schaltpunkte
- RS 232 C-Schnittstelle
MODEL 211S
Technische Daten
Messstrom
µA
Temperatur-Bereich
K
- Temperatur-Messung bei Kryopumpen zur Betriebsüberwachung und
zur Steuerung von Pumpständen
±0,05 K von 1,5 bis 99,9 K
±0,05 K von 100 bis 475 K
Genauigkeit
5 V DC @ 400 mA über
mitgeliefertes 100-240 V AC / 9 V DC-Netzteil
Anschluss-Spannung
2
Schaltpunkte
2 Relais (Öffner und Schließer) 28 V DC @ 0,5 A
a) Temperatur-Ausgabe
b) Externes Ändern der Schaltpunkte
RS 232 C-Schnittstelle
Zulässige Umgebungs-Temperaturen
°C
Gewicht
(inklusive Verpackung), ca.
mm
kg
96 x 48 x 166
0,45
Bestelldaten
MODEL 211S
Tieftemperatur-Anzeigegerät Model 211S
Kat.-Nr. 844 110
HV-Mess-Leitung, 2polig
mit Stecker, 10 m lang 1)
HV-Mess-Leitung, 4polig
UHV-Mess-Leitung 4polig
Silizium-Diode, Typ D,
mit Anschluss-Leitung und
Kleinsteckern
- ohne Stromdurchführung
HV- Stromdurchführung auf Flansch
DN 25 KF, 2polig
UHV- Stromdurchführung auf Flansch
DN 16 CF, 4polig
1)
+15 bis +35
Tischgerät
Mechanischer Aufbau/Gehäuse
1,4 bis 475
0,01 K von 1,4 bis 99,9 K
0,1 K von 100 bis 475 K
Auflösung
Schaltausgänge
- Temperatur-Messung bei Kryostaten
10
5-stellige LED
Anzeige
Kat.-Nr. 844 112
Kat.-Nr. 844 113
Kat.-Nr. 844 114
Kat.-Nr. 890 89
Kat.-Nr. 200 19 256
Kat.-Nr. 500 217
Für COOLPOWER und COOLVAC-Pumpen
53 C12
Elektrische Temperatur-Messfühler sind
– im Gegensatz zu DampfdruckThermometern – für kontinuierliche
Messungen in weiten TemperaturBereichen geeignet.
In hoch ausheizbare Apparaturen können Silizium-Dioden erst nach dem
Ausheizen eingebracht werden.
Die Silizium-Diode Typ D ist passend
zum Tieftemperatur-Anzeigegerät
und zum Tieftemperatur-Regelgerät
Modell 9700.
Silizium-Dioden zeichnen sich durch
einen negativen Temperatur-Koeffizienten des Widerstandes aus, d.h. mit
wachsender Temperatur nimmt der
Widerstand ab. Entscheidend für die
Eignung dieser Dioden als TemperaturMessfühler sind die Steilheit der
Temperatur-Widerstands-Charakteristik
und die absolute Größe des elektrischen Widerstandes. Die Steilheit
bestimmt die Empfindlichkeit des
Messfühlers, und ein hoher elektrischer
Widerstand ermöglicht es, auch bei
geringer Belastung (Mikrowatt) hinreichend genau zu messen.
Maßzeichnung der Silizium-Diode, Typ D
Standard-Kennlinie Silizium-Diode
Technische Daten
Temperatur-Bereich
Temperatur-Koeffiziert (dR/dT)
qualitativ
quantitativ
K
1,4 bis 325
Ω/K
negativ im gesamten Temperatur-Bereich
Kennlinie nicht linear
Messstrom
µA
10
Ausheizbar bis
°C
+60
Bestelldaten
Kat.-Nr. 890 89
Silizium-Diode
mit 2poliger Stromdurchführung
Kat.-Nr. 200 20 694
Flansch DN 16 ISO-KF
Kat.-Nr. 200 20 616
C12 54
Sicherheits-Ventil
Typische Anwendung
32
- Sicherung abgeschlossener VakuumSysteme wie z.B. Kryopumpen,
Kryostate, Heber, etc. gegen inneren Überdruck
28
- Pflicht bei im Kaltzustand abtrennbaren Systemen als Sicherung
gegen Überdruck
DN 16 KF
Maßzeichnung zum Sicherheits-Ventil
Technische Daten
Sicherheits-Ventil
Ansprechdruck
mbar
150 ± 40, Überdruck
Durchfluss bei 140 mbar
l · h-1
500
Ventilteller
Leckraten in geschlossenem
Zustand
Federbelastet, mit Rund-Dichtring gedichtet
mbar · l · s-1
Anschluss
DN
Messgenauigkeit
Gewicht
16 KF
32
Material
Gesamthöhe
< 1 · 10-8
Stahl 1.4305
mm
28
kg
0,3
Bestelldaten
Sicherheits-Ventil auf Flansch DN 16 KF
Sicherheits-Ventil
Kat.-Nr. 890 39
55 C12
Feinmess-Manometer
Typische Anwendung
Technischer Hinweis
- Druck-Anzeige von DampfdruckThermometern
Für Betrieb und Messung oberhalb
1013 mbar muss für die KleinflanschDichtung ein Außen-Zentrierring,
Kat.-Nr. 183 53 verwendet werden.
50
160
2000
0
226
133
DN 10 KF
Maßzeichnung zum Feinmess-Manometer
Technische Daten
Anschluss
Messbereich
Feinmess-Manometer
DN
mbar
Messgenauigkeit
10 KF
0 bis 2000
1 % vom Vollauschlag
Durchmesser
mm
160
Skalenlänge
mm
320
Inneres Volumen, ca.
cm3
20
Gesamthöhe
mm
226
kg
1,4
Gewicht
Bestelldaten
Feinmess-Manometer
C12 56
Feinmess-Manometer
Kat.-Nr. 890 50
Notizen
57 C12
Vertriebs- und Servicenetz
Deutschland
Europa
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Tel.: +49-(0)221-347 1234
Fax: +49-(0)221-347 1245
sales.vacuum@oerlikon.com
www.oerlikon.com
Belgien
Oerlikon
Leybold Vacuum Nederland B.V.
Belgisch bijkantoor
Leuvensesteenweg 542-9A
B-1930 Zaventem
Sales:
Tel.: +32-2-711 00 83
Fax: +32-2-720 83 38
sales.vacuum.zv@oerlikon.com
Service:
Tel.: +32-2-711 00 82
Fax: +32-2-720 83 38
service.vacuum.zv@oerlikon.com
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
VB Nord/Nordost
Niederlassung Berlin
Industriestraße 10b
D-12099 Berlin
Tel.: +49-(0)30-435 609 0
Fax: +49-(0)30-435 609 10
sales.vacuum.bn@oerlikon.com
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
VB Süd/Südwest
Niederlassung München
Karl-Hammerschmidt-Straße 34
D-85609 Aschheim-Dornach
Tel.: +49-(0)89-357 33 9-10
Fax: +49-(0)89-357 33 9-33
sales.vacuum.mn@oerlikon.com
service.vacuum.mn
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Beichen Economic
Development Area (BEDA),
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China
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Oerlikon
Guangzhou Office and
Service Center
1st F, Main Building
Science City Plaza,
No.111 Science Revenue,
Guangzhou Science City
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China
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Japan
Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Headquarter
23-3, Shin-Yokohama
3-chome
Tobu A.K. Bldg. 4th Floor
Kohoku-ku
Yokohama-shi 222-0033
Sales:
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Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Osaka Sales Office
3F, Shin-Osaka Terasaki
No.3 Bldg.
1-5-28 Nishi-Miyahara
Yodogawa-ku, Osaka-shi
Osaka 532-0004
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Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Tsukuba Technical Service Center
Kogyo Danchi
21, Kasuminosato,
Ami-machi, Inashiki-gun
Ibaraki-ken, 300-0315
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Fax: +81-298 89 2838
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Süd-Korea
Oerlikon
Leybold Vacuum Korea Ltd.
3F. Jellzone 2 Tower
Jeongja-dong 159-4
Bundang-gu Sungnam-si
Gyeonggi-do
Bundang 463-384, Korea
Sales:
Tel.: +82-31 785 1367
Fax: +82-31 785 1359
sales.vacuum.bd@oerlikon.com
Service:
623-7, Upsung-Dong
Cheonan-Si
Chungcheongnam-Do
Korea 330-290
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Fax: +82-41 588 0166
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Oerlikon
Beijing Branch:
1-908, Beijing Landmark Towers
8 North Dongsanhuan Road
Beijing 100004
China
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Fax: +86-10-6590-7607
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Singapur
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Singapore Pte Ltd.
1 Science Park Road
Singapore Science Park 2
#02-12, Capricorn Building
Singapore 117528
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Fax: +65-6773 0039
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Indien
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MIDC Bhosari
Pune 411026
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Fax: +91-20-2712 1571
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Taiwan
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No 416-1, Sec. 3
Chunghsin Road., Chutung
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Tel.: +886-3-500 1688
Fax: +886-3-583 3999
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