3. Transistoren
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3. Transistoren
3. Transistoren: Typen, Beschreibung und Funktionen Bipolar-Transistoren Homogene pn-Übergänge (Bipolartransistor, BJT) Heterostrukturen (Hetero-Bipolartransistor, HBT) Feldeffekt-Transistoren (unipolar) Homogene Kanäle (Feldeffekttransistor, FET) Heterostrukturen (HFET, HEMT, ...) Transistor-Schaltungen Entwurfsziele: Bandbreite, Leistung, Linearität 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 1 WS 2016/2017 Bipolar-Transistoren Zwei anschließende pn-Übergänge mit gemeinsamer Mittelschicht npn gegenüber pnp bevorzugt (Beweglichkeit der Majoritätsträger) • Beschaltung für Normalbetrieb (Basisschaltung) BE-Diode schwach in Durchlassrichtung, E BC-Diode stark in Sperrrichtung • Dotierung für Normalbetrieb B viel schwächer dotiert als E und C • Diffusion von Elektronen („feldfrei“) E B C • Hohe Stromausbeute kleine Ausdehnung db • Basisbahnwiderstand Rb ~ 1/Dotierung n p n C B • Hohe Frequenzen Kleine Kapazitäten => kleine E- und C-Flächen • Geometrie • Technologie (Diffusion, Epitaxie, Ionenimplantation) 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 2 WS 2016/2017 Dotierungsprofil eines Hochfrequenz-Bipolartransistors • E hochdotiert und dünn • Übergang zu B nahezu abrupt • B nahe E hoch dotiert, Gefälle Richtung C • Nb(0) Ne/100 • Profil "kippt" Bandkanten (inneres Feld) • Driftfeld beschleunigt Ladungstransfer • Kollektorsperrschicht möglichst bis an n+ • Emitterweite im m-Bereich • Basisdicke db 0.1 m (kritisch) • NBdb > NCdc, damit C-Sperrschicht nicht bis E durchgreift 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 3 WS 2016/2017 BJT: Aufbau Vgl. Skript „Halbleiterbauelemente“, Prof. Andreas Schenk, http://www.iis.ee.ethz.ch/~schenk/BE.html Prozessoptimierung bezüglich • • • • hoher Verstärkung, niedriger Rauschzahl, hoher Betriebsfrequenzen hoher Leistung HF-Elektronik, Prof. Dr. Solbach, GMU Duisburg Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 4 WS 2016/2017 3. Transistoren Ströme in Bipolartransistoren Doppelter pn-Übergang (Ebers-Moll-Gleichungen, zwei Shockley-Terme) Verschiedene Betriebsarten: normal, invers, Sperr, Durchlass . E Gleichstromübertragungsfaktor A1 (Emitterergiebigkeit, Emitterwirkungsgrad) Ersatzschaltbild Normalbetrieb (statisch) Aufgabe 6 UEB < 0 und UCB uT Betriebseigenschaften durch uT stark temperaturabhängig! 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 5 WS 2016/2017 Kennlinienfelder (BJT) 1. Eingang: IB(UBE) @ UCE 3. Stromübertragung: IC(IB) @ UCE 2. Ausgang: IC(UCE) @ IB 4. Rückwirkung: UBE(UCE) @ IB 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 6 WS 2016/2017 Aussteuerbereich (BJT) Grundlage für ArbeitspunktEinstellung und Schaltungsdimensionierung 1 – Kollektorrestspannung 2 – Kollektor-Emitter-Reststrom 3 – Maximaler Kollektorstrom 4 – Maximales UCE (Durchbruch) 5 – Maximale Verlustwärme ~ ICUCE 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 7 WS 2016/2017 HF-Kleinsignalbeschreibung (Basisschaltung) AFIE E IE IC IB C IC0 B HF-Stromübertragungsfaktor Wechselstrom-Kleinsignal-ESB • Differentielle Elemente Tiefpass-Verhalten mit Grenzfrequenz f • Physikalisch berechenbar • Innere Wirkungsweise • f-abhängige Stromverstärkung • Elementewerte AP-abhängig Laufzeiteffekte im Basisraum Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 3. Transistoren Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 8 WS 2016/2017 Grenzfrequenzen (Emitterschaltung) Giacoletto (gültig bis f/2) Transitfrequenz ( || = 1) fT beschreibt „unity-gain bandwidth“ fT f 02 1 f /(1 0 ) f Maximale Schwingfrequenz fmax: G = 1 (f2max ~ f/B‘C, fmax > fT) Stromübertragungsfaktor 0 (f ) (f ) rB 'E gm 1 (f ) 1 j f / f f f (1 0 ) Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 10 3 0 2 f 10 1 10 0 Aufgabe 7 Messbare Dreitor-Eigenschaften des äußeren Transistors; -Schaltung mit Minimalzahl von Elementen Stromverstärkung , 10 0 f -1 10 0 10 10 1 2 3 10 10 10 Frequenz f [Hz] Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 9 WS 2016/2017 4 5 10 10 6 3. Transistoren Mikrowellen-Bipolartransistoren Anforderungen an kurze Laufzeiten 1. Kleine E-Fläche (kurze Ladezeiten) 2. Kleine B-Dicke (kurze Laufzeiten, 100 nm) 3. Optimale C-Raumladungszone (kurze Laufzeiten kleine Kapazität) 4. Kleine B-Fläche (geringe Verluste, Rückwirkung, Ausgangsadmittanz) Gleichzeitig möglichst viele Kriterien erfüllen: hohe Ansprüche an BE-Entwurf und Technologien (Mikrostrukturen, hohe Stromdichten) Rauschzahl Frequenzabhängigkeit durch GU Streuparameter Wärme (B), Schrot (E); Stromvertlg (B-Rekombination) ESB von Giacoletto oder numerische Modelle 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 10 WS 2016/2017 Heterobipolartransistoren (HBT) Lösungsansatz Problem (Bezug: BJT) InD E Energiebarriere für Löcherinjektion B-E C Irekomb IpD B A In / (In + Ip) = 1 / (1 + Ip/In) < 1 Vorteil HBT Geringe B-Dotierung In/Ip ~ nE/pB · eWv/kT Erhöhter Bahnwiderstand Höhere B-Dotierung (Rb) Kleinere E-Dotierung (CE) z.B. AlGaAs/GaAs Größere Stromverstärkung () InGaP/GaAs, InP/InGaAs Höhere Grenzfrequenzen Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 3. Transistoren Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 11 WS 2016/2017 HBT: Beispielrealisierungen GaAs/GaInP Leistungs-HBT für die Mobilkommunikation E B C 2 m Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin. www.fbh-berlin.de/deutsch/techn_trans.htm P. Kurpas et al., IEEE MTT-S Microwave Symposium Digest 2001, pp. 633-636; copyright bei IEEE. 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 12 WS 2016/2017 HBT-Leistungsmerkmale 1 kW·GHz2 F. Schwierz and J.J. Liou Modern Microwave Transistors – Theory, Design, and Performance, Wiley-Interscience, 2003 Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 13 WS 2016/2017 3. Transistoren Feldeffekt-Transistoren (unipolare Transistoren) Stromsteuerung durch Spannung senkrecht zum Ladungsfluss Ideen seit 1925 (technologische Realisierung erst um 1950) S G D S Source // G Gate // D Drain Metall Nur Majoritätsträger beteiligt n+ n+ Keine Diffusionsträgheit! n Kanal Semiisolierendes GaAs Steuerstrecken (gate-source) • pn, MIS, MOS, MeS (Schottky) • Homogen (FET) oder heterogen (HFET) • n- oder p-leitend • Selbstsperrend oder selbstleitend (normally off, normally on) • Anreicherungs- oder Verarmungsbetrieb 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 14 WS 2016/2017 Feldeffekt-Transistoren: Der Kanal S G D G ws Metall Sperrschicht w Ug(x) + n + n n Kanal Semiisolierendes GaAs d wd U S D Kanal x=0 x=L • Raumladungszone verbreitert sich von S nach D durch Spannungsabfall entlang des Kanals • Mit zunehmender G-Spannung verringert sich D-Strom wegen zunehmender Kanal-Abschnürung • Ladungsträgergeschwindigkeit nimmt mit Einschnürung bis zur Sättigungsdriftgeschwindigkeit zu • Pinch-off-Spannung Up: Kanal völlig abgeschnürt 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 15 WS 2016/2017 Kennlinienfelder (FET) Übertragungskennlinien ID(UGS) 0.5 UDS UGS – Up: Steuerbarer Einschaltwiderstand 0.4 U /U = p -0.2 -0.1 0 Drain-Strom I/G U S GS Sättigung: Konstantstromquelle 0.3 0 0.2 0.1 0.1 0.2 0 0 0.2 0.4 0.6 0.8 Drain-Spannung U /U Ausgangskennlinien ID(UDS) @ UGS DS 1 p „Sättigungskurven“; bei allen FET-Typen ähnlich (Einschnürung) Negativer Temperaturkoeffizient; thermisch stabil Aussteuerbereich Maximalströme, -spannungen Kompromiss Verstärkung – Aussteuerung 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 16 WS 2016/2017 HF-Kleinsignalbeschreibung (S-Schaltung, gültig bis etwa fT/3) Steilheit S0 durch Driftsättigung begrenzt ESB reflektiert physikalische Eigenschaften CFY 10: cGS=0.45 pF, cGD=0.03 pF, cDS=0.12 pF RG=RS=RD=rGS=4.5 , rDS=750 ; S=38 mS, fT=13.4 GHz Transitfrequenz Maximale Schwingfrequenz Steilheit, Rückwirkung Entwurfsoptimierung Kanallaufzeit 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 17 WS 2016/2017 Mikrowellen-FET Anforderungen: Hohe Steilheit und kurze Laufzeiten 1. Starke Dotierung im Kanal (hohe Leitfähigkeit) 2. Kleine G-Länge (kurze Laufzeiten) 3. Optimierte Kanaldicke (Kanalleitwert steigt mit d Steilheit begrenzt bei großen d; Kompromiss L/d ~ 5) 4. Kleine parasitäre Elemente Aufgabe 8 Gleichzeitige Erfüllung möglichst vieler Kriterien: Hohe Ansprüche an BE-Entwurf und Technologien Rauschzahl Frequenzabhängigkeit durch S(f) F~f Hauptsächlich thermisches Rauschen, das bei tieferen Temperaturen abnimmt 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 18 WS 2016/2017 Dual-Gate-FET Integrierte Schaltung Serienschaltung Source – Gate Anwendungen D G2 G1 S Doppelsteuerung (Tetrode) Regelbare Verstärker, Mischer, Phasenschieber Verstärkung (Kaskode) Verbesserungen bzgl. Gewinn, Stabilität, Rauschen Verstärkungssteuerung (z.B. BF1204 Philips) Dual N-channel dual-gate MOS-FET Gain controlled lownoise amplification VHF / UHF frequencies 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 19 WS 2016/2017 „High electron mobility“ -Transistoren (HEMT) • Etwa 10 nm dicker Kanal, zweidimensionales Elektronengas (2DEG) • Gate-Spannung beeinflusst Lage des Ferminiveaus • Höhere Beweglichkeit und geringere Rauschzahl als bei homo-FET S G D n+ n+ Kanal (2DEG) n-GaxAl1-xAs GaxAl1-xAs (undotiert) GaAs (undotiert) Semiisolierendes GaAs 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 20 WS 2016/2017 „High electron mobility“ -Transistoren (HEMT) Skript „HEMT“, Prof.W.Bächtold, früher ETH-IFH Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 3. Transistoren Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 21 WS 2016/2017 HEMT: Entwicklungsrichtungen (Auswahl) • InP HEMT GaAs mHEMT GaAs pHEMT • Si MOSFET konkurrenzfähig (insbes. unter 100 nm) • fmax 1 THz (Gatelänge 35 nm) 3. Transistoren PD Dr. F. Schwierz (TU Ilmenau), Oktober 2012 Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 22 WS 2016/2017 Entwicklungsstand ( 2000) Zinke/Brunswig: HF-Technik Bd. 2 plus Aktualisierungen 1 kW·GHz2 Leistungsverstärkung Rauschzahl Ausgangsleistung InP HEMT Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 SiGe HBT AlGaN/GaN HEMT, SiC MESFET Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 23 WS 2016/2017 3. Transistoren Entwicklungsstand (2008) 5 kW·GHz2 1…10 GHz: Si LDMOS, GaAs (pHEMT, HBT), GaN HEMT 10…100 GHz: GaAs (pHEMT, mHEMT), InP und GaN HEMT 100…1000 GHz: InP HEMT 3. Transistoren PD Dr. F. Schwierz (TU Ilmenau), Tutorial EuMIC 2008 Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 24 WS 2016/2017 Transistor-Schaltungen Basis für HF-Anwendungen 1. Aktives Element (Leistungsumsetzung) für f < fmax 2. Ein- und Ausgangs-Kennlinien: linearer Bereich vs nichtlinear Anwendungsfelder (vgl. auch CAD-Übungen) • Kleinsignalverstärker: Rauscharmut und Leistungsverstärkung • Selektiv- vs Breitbandverstärker: Frequenzgang, Stabilität, Anpassung • Leistungsverstärker: Linearität, Wirkungsgrad, maximale Leistung S-Parameter aussteuerungsabhängig, Nichtlinearitäten Transistormodelle, geeignete Messverfahren (load-pull) • Oszillatoren • Elektronisch schalt- oder steuerbare Elemente (vgl. Diodenschaltungen) • Mischer 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 25 WS 2016/2017 Breitband-Verstärker (1/3) Anforderung Kompensation der frequenzabhängigen Leistungsverstärkung über Bandbreite Methoden Anpassnetzwerke (m/o Verluste, hohes VSWR an unterer Bandgrenze) Eintaktverstärker mit Einwegleitungen Einwegleitung (Isolator) Verstärker Eingang Ausgang 50 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 26 WS 2016/2017 Breitband-Verstärker (2/3) Methoden Parallelschaltung Verstärker mit Hybriden (Leistungsaufteilung 3 dB 90o) 3-dB-Hybrid Eingang 1 (ra-rb)/2 (ra+rb)/2 Verstärker 2 ra 3 ta 4 rb 3' 4' (ta-tb)/2 1' (t +t )/2 a b 2' tb Ausgang 50 Vorteile von Parallelschaltungen • • • • Transistoren entkoppelt Kleinere Fehlanpassung (symmetrische Schaltung immer angepasst) Doppelte Leistung möglich Flacherer Frequenzgang 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 27 WS 2016/2017 Breitband-Verstärker (3/3) Methoden Wanderwellen, Kettenverstärker Synchronbedingung e a Additive Leistungsverstärkung n Y 21 G n Re Y 22 2 / Z L Siehe auch Vorlesungen Hochfrequenztechnik 1 und 2 Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 28 WS 2016/2017 2 3. Transistoren Siehe auch Vorlesungen Hochfrequenztechnik 1 und 2 Selektivverstärker Anforderung Frequenzselektive Verstärkung, z.B. Hauptselektion Methoden Schwingkreise lose angekoppelt (Güte-Belastung, Leistungsanpassung) Antenne HF BP1 V1 BP2 BPn Vn Demod NF ZF-Verstärker Antenne HF Filter V Demod NF ZF-Verstärker Filterdesign: Bandfilter, charakteristische Funktionen Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 29 WS 2016/2017 3. Transistoren Siehe auch Beschreibung in den Vorlesungen Hochfrequenztechnik 1 und 2 Leistungsverstärker Anforderung Möglichst hohe Ausgangsleistung über Betriebsbandbreite ohne thermische Überlastung oder BE-Durchbruch Methoden Parallelschaltung von Transistoren (Impedanzniveau sinkt) Gegentaktanordnung: Minimierung der 2. Harmonischen (Wirkungsgrad) Zahlenbeispiel: 288 Transistoren, 1.3 GHz, 30 kW Puls (Radar) 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 30 WS 2016/2017 Leistungsverstärker: Nichtlinearitäten Schränken Dynamikbereich und spektrale Reinheit ein: Kompression (1-dB-Kompressionspunkt) Blocking, Kreuzmodulation, AM-PM-Umwandlung Linearisierungsmaßnahmen http://de.wikipedia.org/wiki/Adjacent_Channel_Power Harmonischen-Erzeugung und Intermodulation (insbes. 3. Ordnung) Nachbarkanalstörung (ACPR) 3. Transistoren Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 31 WS 2016/2017 Steuerbare Reaktanzschaltungen Eigenschaften Realisierungsmöglichkeiten C R L R Ceff = S·L/R Ceff = S·RC R L C R Leff = S-1·L/R Dimenisonierung Rout , S C 1 Rückwirkungsfrei (C12 = 0) L eff,0 RC Qeff,0 RC 1 S Mit Rückwirkung (C12 > 0) L eff L eff,0 1 1 ( RC12 )2 Qeff Qeff,0 Leff = S-1·RC Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 1 1 (R)2 C12 (C C12 ) Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 32 WS 2016/2017 S. Loracher, Dissertation, TU Ilmenau, in Bearbeitung (2016) • RC- oder RL-rückgekoppelte Transistorschaltung (aus Röhrentechnik) • Elektronisch steuerbar, passiv, reziprok, potentiell hochgütig • Vielfältige Anwendungen in frequenzselektriven Schaltungen (Resonatoren, Filter, Oszillatoren) 3. Transistoren Gleichungen 3 NB Nb (x)dx 0 8 (f ) h21B 0 1 j f / f Re{Z S } 13 PAE Pdc uT 17 S0 ID UGS Dnb 1 1 d2b 3 rEDc ED 1 Re{YL } GU (f) Pout 1 1 Pdc G r on 16 I 2I (1 UGS ) UDS D DSS UP UP 2 UDS const r on,0 IDSS Up Hochfrequenz- und Mikrowellentechnik www.tu-ilmenau.de/hmt Seit 1961 I C A FI E IC0 f 1 10 F(f) 1 rB'B 2 rB'E IC Pout Pin I E I SE e UEB /uT 1 In nE 5 I p p B db 31 fmax 2f 1 4 rB 'Bc B 'C PIP3 Pa,1dB 10.6 dB Fkt(f) (1 RG / Rein )2 F(f) 1 S(f) RG U 1/ 1 GS UP S0 S(f ) 1 j2fs I D IDSS (1 S0 fT 2c GS Schaltungen und Bausteine der HMT Prof. Dr. M. Hein Seite 33 WS 2016/2017 UGS 2 ) UP L s ~ d 2 3. Transistoren