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Pressemitteilung Nr. 49 vom: 18. April 2006 Workshop “Scanning Probe Arrays” am 24.4.2006 im Applikationszentrum Ilmenau Die Technische Universität Ilmenau lädt gemeinsam mit Partnern des EUForschungsprojekts PRONANO zum Workshop „Scanning Probe Arrays“ am Montag, dem 24.4.2006 um 9.00 Uhr in das Applikationszentrum ein. In 5 Fachvorträgen wird es um die Forschungsinhalte des EU-Projektes gehen. Dabei werden Konzept und Anwendungen der Rastersondenmikroskopie sowie Detektionsprinzipien und Antriebstechniken für die Cantilever-Auslenkung vorgestellt. Das Projekt PRONANO mit 18 Partnern aus 9 verschiedenen europäischen Staaten wird von der Europäischen Union im Rahmen des 6. Forschungsrahmenprogramms gefördert. Zu den 9 deutschen Partnern des Projekts zählen die Unternehmen Carl Zeiss AG, Infineon Technologies AG, Vistec Semiconductor Systems (Leica Microsystems Semiconductor) GmbH, SIOS Messtechnik GmbH, ELMOS Semiconductor AG und Nanoworld Services GmbH (Projektkoordinator). Ziel von PRONANO ist es, durch die Anwendung spezifischer nanoelektromechanischer Systeme und neuer Prozesse in der Nanotechnologie zu neuen Anwendungen in der verarbeitendenden Fertigungsindustrie zu gelangen. Gemeinsam werden Tools und Technologien für die Produktion von Cantilevern zur Analyse und Synthese von Nanostrukturen entwickelt. Angehörige der TU Ilmenau wie auch externe Interessenten sind herzlich eingeladen. Anmeldung und Programm finden Sie unter: http://www.pronano.org/news.php Kontakt an der TU Ilmenau: Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Ivo Rangelow Leiter des Fachgebiets Mikro- und nanoelektronische Systeme. Tel. 03677/693717 Anbei die Agenda zur Veranstaltung: 1st public PRONANO Workshop Scanning Probe Arrays Date: April 24, 2006 Location: Technische Universität Ilmenau, Germany APZ, Gustav-Kirchhoff-Str. 5, 98693 Ilmenau Participants: - Project partners: WP leaders and their colleagues directly working on the project - Externals: engineers and researchers; students of TU Ilmenau Registration fees: PRONANO project partners and students/members of TU Ilmenau: free of charge Others: 150 (including course documentation, lunch and coffee breaks) Registration: before March 31, 2006 to: fsrm@fsrm.ch or online: http://www.fsrm.ch/doc/c292.asp Schedule 09:00 – 09.15 Welcome and presentations Annette Locher, FSRM 09: 15 – 09.20 Welcome – TU Ilmenau Rector Prof. Peter Scharff 09:20 – 09.25 Welcome - Dean of EE & IT Faculty Prof. Heinz-Ulrich Seidel 09:25 – 10:15 Overall concept of massively parallel SPP arrays Prof. Ivo Rangelow, TU Ilmenau 10:15 10:30 Coffee Break 10:30 – 11:45 Application fields of Scanning Proximal Probes (SPP) 10:30 – 10:45 10:45 – 11.00 11:00 – 11:15 11:15 – 11:30 Presentation of concrete examples, duration: 10-15 min. each. Dr. Olaf Fortagne, Leica Dr.-Ing. Denis Dontsov, SIOS Dr. Stefan Kolb, Infineon Dr. Rudolf Schmidt, NaWoTec Dr. Oliver Krause, Nanoworld 11:30 – 11: 45 12.00 – 13:15 Lunch Break 13:15 – 14:15 State of the art in SPP Thomas Sulzbach, Nanoworld 14:30 - 5:30 Sensing techniques for cantilever deflection Dr. Vladislav Djakov, RAL 15:30 – 15:45 Coffee Break 15:45 – 16:30 Actuation principles for cantilever deflection Prof. Ivo Rangelow, TU Ilmenau 16:30 -17:00 Campus Tour 17:00 End of workshop Technische Universität Ilmenau * Pressestelle/Öffentlichkeitsarbeit * Ltr. Bettina Wegner (k.) * Tel. 03677 69-2544/-2545 * Fax 03677 69-1718 * pressestelle@tu-ilmenau.de * www.tu-ilmenau.de